판매용 중고 MEDEC / RIX TCM-2000 #9386201

MEDEC/RIX TCM-2000 (MEDEC/RIX TCM-2000) 은 웨이퍼 산업 연구원의 요구 사항을 충족하도록 설계된 고급형 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 일반 실리콘 웨이퍼에서 CCD (charge-coupled device) 웨이퍼까지 다양한 유형의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 표준 대기압에서 UHV (Ultra-High Vacuum) 환경에 이르기까지 다양한 상황과 압력에서 웨이퍼 처리를 위해 설계되었습니다. RIX TCM-2000은 50mm ~ 200mm 범위의 웨이퍼 크기를 처리할 수 있으며, 최대 200개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 2 개의 독립적 인 수동 암과 4 단계 로딩 및 언로딩 위치를 제공하여 자동화를 강화합니다. 수동 암의 독특한 설계를 통해 웨이퍼를 정확하게 처리 및 배치할 수 있습니다. 기계의 10 개 프로세스 모듈은 습식 (wet) 또는 건식 (dry) 상태로 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 습식 공정 모듈은 직경 200 mm 의 웨이퍼를 처리 할 수있는 반면, 건식 공정 모듈은 최대 75 mm 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 습식 공정 모듈은 화학 에칭, 청소 및 확산 프로세스를 제공하는 반면, 건식 공정 모듈은 CVD, 산화, CMP, 이온 이식, 레이저 머시닝 및 리소그래피를 수행하도록 설계되었습니다. 이 도구에는 멀티 가스 (multi-gas) 제거 장치가 장착되어 있어 활성 가스에 대한 뛰어난 제어를 제공하며, 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한, MEDEC TCM-2000은 습도, 온도 등 다양한 환경 조건과 호환되며, 기존 실험실 설정에 쉽게 통합 될 수 있습니다. TCM-2000은 스크래치 수리 (scratch repair) 및 웨이퍼 제조업체를위한 재 작업 서비스 (rework service) 와 같은 광범위한 수리 기능을 제공합니다. 프로세스 모니터링 (process-monitoring) 자산으로 설계되어 최고 수준의 품질 제어를 보장합니다. 이 모델은 또한 폐기물 관리 장치 (Waste Management Unit) 를 갖추고 있으며, 이 과정에서 사용되는 유해 화학 물질을 안전하게 처리 할 수 있습니다. 전반적으로 MEDEC/RIX TCM-2000은 광범위한 웨이퍼 처리 어플리케이션을 위해 설계된 고급 웨이퍼 처리 장비입니다. 2 개의 독립적 인 수동 암을 사용하면 웨이퍼를 정확하게 적재 및 언로드할 수 있으며, 10 개의 프로세스 모듈은 습식 (wet) 및 건조 (dry) 상태에서 다양한 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 이 시스템의 멀티 가스 제거 (multi-gas purging) 기능은 활성 가스에 대한 탁월한 제어 기능을 제공하는 반면, 프로세스 모니터링 장치는 품질 제어를 제공합니다. RIX TCM-2000은 또한 유해 화학 물질의 안전한 처리를 위해 폐기물 관리 장치와 통합되어 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 안정적이고 효율적인 웨이퍼 처리 머신이 됩니다.