판매용 중고 MEDEC / RIX LMXO-2000 #9386199

MEDEC/RIX LMXO-2000은 다양한 웨이퍼 유형 및 크기를 처리하도록 설계된 혁신적인 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 플랫폼은 웨이퍼 (wafer) 수율을 극대화하고 처리 시간 (turnaround time) 을 단축하기 위해 설계된 고급 기능과 기능을 결합한 다기능 플랫폼입니다. RIX LMXO-2000은 모듈식 설계를 통해 광범위한 리소그래피 매개변수, 도량형 설정, 웨이퍼 컨디셔닝 도구를 사용할 수 있습니다. 리토 그래피 기능은 단일 마이크로미터 패턴 (micrometer pattern) 의 미세 정렬에서 복잡한 다중 노출 정렬 (multiple exposure alignment) 에 이르기까지 광범위한 노출을 허용합니다. 초점 (focus) 과 기능 해상도 (feature resolution) 가 뛰어나므로 최신 기술에서 볼 수 있는 복잡한 패턴을 제작하는 데 적합합니다. 3D 개체 및 3D 마이크로 구조 간의 정렬과 같은 고급 정렬 (Advanced Alignment) 도 뛰어난 반복성으로 달성 할 수 있습니다. 또한, 웨이퍼 엣지 (wafer edge) 및 노치 (notch) 정렬을 자동으로 지원하므로 설계 요구 사항에 따라 웨이퍼 코팅이 정확하게 적용됩니다. 이 단위에는 웨이퍼 (wafer) 표면 영역의 매우 정밀한 측정과 피쳐 모양과 깊이에 대한 심층적 평가가 가능한 도량형 (metrology) 제품군이 있습니다. 이를 통해 3D 미세 구조 패턴을 특성화하여 제조 된 제품의 더 높은 수율과 반복 성 (repeatability) 을 보장합니다. 또한, metrology suite는 다양한 맞춤형 웨이퍼 테스트 및 측정 장비와 완벽하게 호환됩니다. 웨이퍼 컨디셔닝 도구 (wafer conditioning tools) 는 정확한 사양을 위한 세척, 건조 및 연마 웨이퍼를 위한 강력한 솔루션을 제공합니다. 크기 와 모양 의 범위 는 신속 하고 정확 하게 처리 할 수 있으며, 따라서 "웨이퍼 '는 최고 의 품질 의 요구 조건 을 충족 시킬 수 있다. 진공 청소기 에는 "웨이퍼 '전체 의 표면 에서 흙, 먼지, 입자 가 포함 되어 있다. MEDEC LMXO-2000은 다양한 wafer-processing 요구 사항을 충족하는 다양한 플랫폼을 제공합니다. 이 기계는 인터페이스, 고급 기능 컨트롤, 온보드 도량형, 웨이퍼 컨디셔닝 툴을 사용하여 복잡한 3D 미세 구조 또는 기타 고급 제품을 제작하는 데 적합합니다. 속도, 정확도, 다양성의 조합으로 제조업체에게는 생산량을 최대한 활용하는 데 필요한 도구를 제공합니다 (영문).