판매용 중고 MATEC 10 #293667705

MATEC 10은 MATEC GmbH가 설계 한 최첨단 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 제품은 빠르고 정확한 웨이퍼 처리 (wafer processing) 기능을 제공하여 운영 속도를 높이고 비용을 절감하도록 설계되었습니다. 시스템은 매우 자동화되어 있어 최소한의 수동 처리가 필요합니다. 장치는 여러 물리적 구성 요소로 구성됩니다. 기계의 중심에는 CUWG (CoreWorks UniGrid) 가 있으며, 다양한 자동 웨이퍼 작업을 수행 할 수있는 일련의 로봇 공학이 있습니다. 각 연속 웨이퍼를 처리하기 전에 각 웨이퍼를 검사 할 수있는 2 축 검사 팔레트 (pallet) 와 통합되어 있습니다. 이 도구는 또한 AWPC (Active Warm Processing Chamber) 를 특징으로하며, 수동 온도 조절을 사용하지 않고 wafer 내용을 환경과 열적으로 화학적으로 구별하는 데 사용됩니다. 이를 통해 정확한 고품질 웨이퍼 처리가 가능합니다. 자산은 직경이 5 ~ 12 인치 인 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. wafer alignment, cleaning, UV exposure, wafer loading/unloading, dicing 및 laser marking과 같은 다양한 웨이퍼 처리 작업을 수행 할 수 있습니다. CUWG 는 사용자 선택 (selection) 에 따라 개별 및 그룹 웨이퍼 처리 작업을 모두 수행할 수 있습니다. 프로세스 신뢰성을 보장하기 위해 모델은 온도, 습도, 공기 흐름, 조명 수준 등의 관련 프로세스 매개변수를 지속적으로 모니터링합니다. 이렇게 하면 각 "웨이퍼 '를 동일 한 방법 으로 처리 하여 일관성 있는 결과 를 보장 할 수 있다. 장비는 또한 다양한 웨이퍼 (wafer) 처리 레시피를 저장, 리콜하여 다른 사용자가 동일한 레시피를 액세스할 수 있도록 할 수 있습니다. 각 웨이퍼 (wafer) 처리 주기가 끝나면 시스템이 자동으로 자신을 청소하며, 자체 진단 (self-diagnose) 하여 잠재적 장애를 감지하고 운영자에게 잠재적 문제를 경고할 수 있습니다. 이 "에너지 '는 적합 한 환경 상태 에 있게 유지 되고, 문제 들 이 발달 하는 것 을 막는 데 도움 이 된다. 이 기계는 신뢰성이 높으며, 장애 발생률이 낮은 많은 웨이퍼 (wafer) 를 처리 할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 사용자 및 서비스 친화적 (user and service friendly) 으로 설계되어, 웨이퍼 처리에 적합합니다.