판매용 중고 MARCH iTrak #9087090

MARCH iTrak은 연구 및 생산 환경의 요구를 충족하도록 설계된 고급 웨이퍼 (wafer) 처리 장비입니다. 즉, 유연성과 확장성을 제공하여 가장 얇고 얇은 필름 프로세스를 처리할 수 있습니다. 이 시스템은 중앙 집중식 RF/DC 다방향 플랫폼 (Multi-Directional Platform) 을 중심으로 설계되었으며, 동일한 수준의 컨트롤을 통해 표준화된/고급 박막 프로세스를 만들고 관리할 수 있습니다. 여러 처리 스테이션 간에 기판을 전송할 때 정확성과 반복성을 보장하는 정밀 다축 동작 장치 (precision multi-axis motion unit) 로 기판 이동이 활성화됩니다. 각 스테이션에는 서로 다른 진공 조건에서 순차적 인 에치 (etch) 또는 예금 (deposit) 프로세스를 허용하는 독립적 인 진공 제어가 있습니다. 복잡한 증착 레이어 또는 리프트 오프 레이어를 처리하기 위해 RF 생성기가 포함됩니다. 이 발전기를 사용하면 RF 전력, 주파수 및 듀티 사이클을 정확하게 조정할 수 있습니다. 또한 ITrak에는 증착 물질을 적절하게 치료하기 위해 고급 온도 조절 기계가 포함되어 있습니다. MARCH iTrak에는 PFEC (photofluorochromic) 감지 도구로 완성 된 플로팅 베드 플루오로 카본 트랙 처리 챔버도 있습니다. 이 챔버는 OClV-MASPR 기판에 기질의 증착을 위해 OClVOMe에 정확하게 노출된다. ITrak은 OClV-MASPR 기판 RF 모듈, 고급 프로세스 제어 모듈, 열파 모니터 (thermal wave monitor) 및 별도의 히터 모듈 등 다양한 애드온 모듈을 통해 사용자 정의가 가능합니다. 추가적인 특수 모듈을 통해 X-ray 패턴, 이벤트 웨이퍼 정렬, 레이저 트레이서 기술과 같은 고유한 응용 프로그램이 가능합니다. 이 자산은 또한 포괄적인 소프트웨어 패키지로 프로세스 모니터링 및 보고 기능을 지원합니다. 이 소프트웨어는 온도 조절 (temperature control) 및 RF 모듈 (RF module) 을 포함하여 모델의 여러 지점에서 데이터를 수집합니다. 이를 통해 사용자는 전체 프로세스를 한꺼번에 조회할 수 있으며, 이를 통해 문제를 보다 쉽게 진단하고, 개선할 수 있습니다. 요약하면, MARCH iTrak은 현대 연구 및 생산 환경에 필요한 유연성과 확장성을 제공합니다. 중앙 집중식 RF/DC 플랫폼은 기판의 효율적인 전송을 제공하는 반면, 고급 온도 및 RF 보상은 복잡한 레이어 또는 리프트 오프 레이어를 정확하고 정확하게 증착 할 수 있습니다. 이 장비는 또한 x-ray 패턴, 레이저 추적, 프로세스 모니터링, 보고 기능과 같은 고유한 애플리케이션을 지원합니다.