판매용 중고 LNI SCHMIDLIN NS Sirocco 5000 #94149

LNI SCHMIDLIN NS Sirocco 5000
ID: 94149
Nitrogen generator, Part No.: 6AV6-545-OCC10X-OAXO Based on hollow fiber membrane technology Separates air into nitrogen and an oxygen-enriched air stream DS-PSA purification technology Nitrogen purity up to 99.999% Continuous read-out of flow and delivery pressure Manual adjustment of delivery pressure.
LNI SCHMIDLIN NS Sirocco 5000은 광범위한 산업 및 과학 응용 분야에 사용하도록 설계된 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 고급 기술을 사용하여 웨이퍼 (wafer) 처리 단계의 매개변수를 정확하고 정확하게 제어하는 반면, 진공 (vacuum) 기반 처리 기능을 사용하면 높은 양의 웨이퍼 (wafer) 를 보다 효율적으로 처리할 수 있습니다. 이 장치 는 여러 가지 구성 요소 로 구성 되어 있으며, 그 구성 요소 는 각각 기계 의 전반적 인 기능 에 기여 한다. 특히, Sirocco 5000에는 온도 조절 도구, 온도 측정 단위, 공정 챔버 및 웨이퍼 로딩을위한 웨이퍼 트레이가 포함되어 있습니다. 제어 자산은 수동 및 자동 작동을 허용합니다. 수동 작동의 경우, 연산자는 온도, 시간, 압력 설정을 수동으로 조정할 수 있습니다. 자동화된 작업 (automated operation) 의 경우, 이 모델은 사용자에게 부정확한 결과를 초래할 수 있는 수작업 실수로부터 보호 (set point) 하여 set point에 응답할 수 있습니다. 온도 측정 장치 (temperature measuring unit) 는 장비에 통합되어 처리 과정에서 온도를 모니터링하는 데 사용됩니다. 단위는 프로세스 챔버 (process chamber) 의 온도를 읽으며, 최적의 온도 수준을 유지하기 위해 필요에 따라 정확한 온도 조정 (temperature adjustment) 을 할 수 있습니다. 공정 챔버는 처리가 완료된 용기입니다. 방은 일반적으로 석영으로 구성되어 있으며, 적외선 복사의 통과를 허용하며, 최대 600 ° C의 온도를 유지할 수 있습니다. 챔버 (chamber) 에는 여러 개의 포트가 있으며, 각 포트는 다른 크기의 웨이퍼를 유지하도록 설계되어 서로 다른 크기의 웨이퍼를 동시에 처리 할 수 있습니다. 마지막으로, 웨이퍼 트레이는 웨이퍼를 로드, 언로드 및 전송하는 데 사용됩니다. 웨이퍼 트레이는 특수 내열 알루미늄으로 만들어졌으며, 시스템의 온도 안정성을 더욱 향상시킵니다. 전반적으로, NS Sirocco 5000은 광범위한 산업 및 과학 응용 분야에 적합한 고급 웨이퍼 처리 장치입니다. 이 기계는 여러 가지 구성 요소로 구성되어 있으며, 모든 구성 요소는 향상된 반복성으로 정확하고 정확하게 웨이퍼를 처리하기 위해 함께 작동합니다. 이 도구는 고급 온도 제어를 제공하며, 정확하고 일관된 처리 결과를 위해 최대 600 ° C 까지 처리 할 수 있습니다. 한편, 웨이퍼 트레이를 사용하면 자산 전체에서 효율적이고 안전한 웨이퍼 전송이 가능합니다.
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