판매용 중고 LEO GIKEN LTA-330A #9148344

LEO GIKEN LTA-330A는 다양한 산업에서 사용되는 소형, 완전 자동화 된 웨이퍼 처리 장비입니다. 특히 연구 개발 연구소, 기타 소규모 운영에 적합합니다. LTA-330A는 고정밀 비접촉 웨이퍼 처리 시스템을 갖추고 있습니다. 동작 제어 장치 (Motion Control Unit) 는 웨이퍼 테이블과 암의 정확하고 일관된 이동을 가능하게하여 처리량을 높이고 생산 허용 한도를 향상시킵니다. 이 기계는 또한 내부 환경 통제 도구 (Environmental Control Tool) 덕분에 처리 중 오염을 최소화하도록 설계되었습니다. LEO GIKEN LTA-330A는 안전하고 효율적인 웨이퍼 로드 및 언로드를 위해 통합 진공 로드 잠금 (vacuum load lock) 을 갖춘 단일 웨이퍼 프로세스 자산입니다. 최대 160 개의 웨이퍼를 적재 할 수 있으며, 최대 8 개의 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. " LTA-330A의 주요 응용 프로그램은 웨이퍼 클리닝, 레코딩 및 어닐링입니다. 웨이퍼 처리 모델 (wafer processing model) 은 다양한 범위의 프로그래밍 가능한 열 프로세스로 사용자 유연성을 향상시킵니다. 고속 난방 장비는 최대 400 ° C의 온도에 도달 할 수 있으므로 웨이퍼의 빠른 열 처리가 가능합니다. 또한, LEO GIKEN LTA-330A에는 다양한 고급 프로세스 제어 기능이 장착되어 있어 일관되고 반복 가능한 제품 성능을 제공합니다. 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 운영자는 기판 전송에서 온도, 시간 설정에 이르기까지 프로세스의 모든 측면을 프로그래밍 및 모니터링할 수 있습니다. 원격 모니터링 (Remote Monitoring) 기능을 통해 사용자는 로컬 네트워크를 통해 임의의 위치에서 시스템 작동을 모니터링할 수도 있습니다. 전반적으로, LTA-330A는 모든 생산 또는 연구 실험실을위한 귀중한 웨이퍼 처리 도구입니다. 성능, 정확성, 반복성이 향상되어 광범위한 애플리케이션을 위한 비용 효율적인 솔루션이 됩니다.