판매용 중고 LEHMANN 8A #9111710

ID: 9111710
빈티지: 2003
Three Roll Mill 2003 vintage.
LEHMANN 8A (LEHMANN 8A) 는 최고의 웨이퍼 처리 장비로, 높은 정확도와 정확도가 필요한 작업을 처리하도록 설계되었습니다. 최첨단 기술과 첨단 엔지니어링 (Advanced Engineering) 의 독보적인 조합을 활용한 8A는 반도체 웨이퍼 처리 업계에서 최고의 효율성과 효과를 제공합니다. 레만 (LEHMANN) 8A (LEHMANN 8A) 의 중심에는 단일 런에서 최대 수의 웨이퍼를 처리 할 수있는 통합 웨이퍼 시스템이 있습니다. 이 장치는 시간당 최대 200 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 비균일성을 최소화하면서 반복 가능한 고해상도 균일성을 제공합니다. 이 기계는 공정 중 온도 및 가스 압력을 제어하기위한 냉각 및 가스 관리 도구 (cooling and gas management tool) 를 갖추고 있습니다. 또한 8A에는 외부 중앙 컴퓨터, autostage controller 및 autostage 소프트웨어가 포함 된 통합 플랫폼이 있습니다. LEHMANN 8A는 또한 통일성을 보장하는 여러 프로세스 모니터링 및 편집 도구를 제공합니다. 품질 검사 창 (Quality Check Window), 시각적 셀 검사 (Visual Cell Inspection) 및 닫힌 루프 모니터링 (Closed-Loop Monitoring) 을 포함하는 이러한 도구를 사용하여 프로세스 매개변수의 세부 측정 및 조정을 수행할 수 있습니다. 8A는 또한 프로세스 레시피를 저장하고 관리할 수있는 광범위한 라이브러리를 제공합니다. 레만 8A (LEHMANN 8A) 는 소프트웨어를 안전하게 실행하는 고급 컨트롤러로 설계되었으며, 정확한 모션 제어 기능을 제공하며, 생산에 매우 빠른 처리 속도를 제공합니다. 8A 가 제공하는 많은 시간 절약형 제어/관리 기능은 손쉬운 유지 관리/설정 (maintenance and setup) 을 위해 설계된 인터페이스에서 추가로 지원됩니다. 레만 (LEHMANN) 8A (LEHMANN 8A) 는 wafer 처리 자산이 작동하는 동안 서비스 직원이 잠재적 인 피해로부터 보호되는 고급 안전 기능을 제공합니다. 이러한 기능에는 안전 센서, 예비 CCW 전원 공급 장치, 서비스 도어 인터 록 및 ESD 보호가 포함됩니다. 8A 는 효율적이고 안전한 웨이퍼 (wafer) 처리 모델로, 고품질 반도체 웨이퍼 생산을 위한 정확한 제어 및 자동화 기능을 제공합니다. 통합 장비, 강력한 컨트롤러, 다양한 프로세스 모니터링/편집 툴을 통해 생산량이 가장 높을 수 있습니다. 게다가, 고급 안전 (safety) 기능은 시스템이 안전하게 작동하고 있다는 점을 염두에 두고 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 LEHMANN 8A는 다양한 반도체 웨이퍼 처리 응용 분야에 이상적인 선택이 됩니다.
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