판매용 중고 KYORITSU SEIKI GV1-20HAT-PF #293663639

ID: 293663639
System.
KYORITSU SEIKI GV1-20HAT-PF는 반도체 제조에 사용되는 고온 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 고급 웨이퍼 레벨 (wafer level) 처리 기술을 사용하여 기본 재료를 손상시키지 않고 산화물 패턴을 빠르고 정확하게 형성합니다. GV1-20HAT-PF는 고온 강착 방법을 사용하여 이산화규소 (silicon dioxide) 또는 폴리 실리콘 (polysilicon) 과 같은 얇은 재료 층으로 웨이퍼를 코팅합니다. 이것은 고온로에서 수행되며, 여기서 기질은 850 ° C 이상의 온도로 가열됩니다. 이것 은 박막 이 "웨이퍼 '를 고르게" 코우팅' 하고 전체 기판 에 걸쳐 일관성 이 있는 산화물 "패턴 '을 만든다. 산화물 패턴이 형성되면 KYORITSU SEIKI GV1-20HAT-PF는 레이저 광석판을 사용하여 원하는 패턴의 이미지를 기판에 투영합니다. 이 작업은 웨이퍼 (wafer) 의 피쳐를 정확하게 정렬하기 위해 매우 정밀하게 수행됩니다. GV1-20HAT-PF의 또 다른 장점은 저열 예산입니다. 이 장치는 저온, 짧은 시간 기반 프로세스를 사용합니다. 근본 물질 의 열 침식 (thermal erosion) 을 최소화 하여, 최종 생성물 의 수율 을 감소 시킬 수 있다. 게다가, 낮은 열 예산 은 "웨이퍼 '의" 스트레스' 를 덜어 주며, 처리 후 의 무결성 과 고성능 을 유지 한다. KYORITSU SEIKI GV1-20HAT-PF 또한 사이클당 최대 10 개의 웨이퍼 처리량을 허용하기 때문에 효율성이 높습니다. 따라서 대용량 생산에 이상적인 선택이 됩니다. 마지막으로 GV1-20HAT-PF에는 포괄적인 안전 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 기계가 과열되지 않도록 하는 온도 센서 (temperature sensor) 와 챔버 압력 (chamber pressure) 을 모니터링하여 허용 한계를 초과하지 않도록 하는 압력 센서 (pressure sensor) 가 포함됩니다. 요약하면, KYORITSU SEIKI GV1-20HAT-PF는 고급 웨이퍼 레벨 처리 기술을 사용하여 기본 재료를 손상시키지 않고 산화물 패턴을 빠르고 정확하게 형성하는 고온 웨이퍼 처리 도구입니다. 이 자산은 낮은 열 예산, 높은 처리량, 종합적인 안전 (safety) 기능을 제공하여 반도체 제조 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.
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