판매용 중고 KORTHERM SCIENCE KOS-1000L #293664550

KORTHERM SCIENCE KOS-1000L은 여러 가지 기능을 하나의 사용자 친화적 인 패키지로 결합한 고급 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 monocrystalline 및 multicrystalline 웨이퍼 준비, 패턴, 결함 검사, 열 방출, 필름 증착 등 다양한 응용 프로그램에서 사용하도록 설계되었습니다. 단일 웨이퍼 기반 플랫폼으로, 반복 가능한 프로세스 및 데이터 관리 기능을 통해 최대 200mm 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. KOS-1000L에는 경쟁 제품과는 다른 몇 가지 주요 기능이 있습니다. KORTHERM SCIENCE KOS-1000L은 웨이퍼 준비 프로세스를 자동화하도록 설계되었습니다. 웨이퍼 방향과 정렬을 감지하고, 정렬 표시를 읽고, 웨이퍼를 표시하고, 정렬 정확도를 확인할 수 있습니다. 여기에는 웨이퍼 픽업 및 정렬 장치, 레이저 에칭 기계 및 정밀 로봇 암 (옵션) 이 포함됩니다. 이 매우 정확한 도구는 수동 웨이퍼 준비가 필요하지 않습니다. KORTHERM SCIENCE는 KOS-1000L을 통해 고해상도 이미지 획득 및 패턴화 기능도 제공합니다. 자산은 최대 5,000dpi의 해상도로 광학 현미경에서 이미지를 캡처할 수 있습니다. 또한 photolithography, top-down, hot embossing 및 oxidation을 포함한 다양한 패턴 링 기술을 제공합니다. 이 모델은 미세 선 패턴을 생성하고 고급 형상을 처리하는 데 이상적입니다. KORTHERM SCIENCE KOS-1000L은 고급 결함 검사 기능도 제공합니다. 첨단 현미경 장비는 표면 및 매장 된 결함을 포함하여 서브 미크론 수준의 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한 3D 표면 토폴로지 특성, 비 접촉 열 방출 측정, 부분적으로 투명한 레이어 검사에도 사용할 수 있습니다. 또한 KOS-1000L에는 열 증발, 스퍼터 증착, 화학 증발 등 여러 필름 증착 기술이 포함되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 매우 얇은 필름 (ultra-thin film) 에서 더 두꺼운 레이어 (layer) 에 이르기까지 단일 또는 여러 개의 박막 레이어를 적용할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 다양한 포토리스트 (photoresist) 와 호환되며, 사용자는 적정 수율을 위해 증착 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. KORTHERM SCIENCE KOS-1000L의 강력한 설계 및 정확도 컨트롤은 웨이퍼 처리를 위해 매우 효율적이고 신뢰할 수있는 장치입니다. 고급 자동화 기능, 정교한 이미지 획득 및 패턴 (patterning) 기능을 통해 고밀도 웨이퍼 처리 어플리케이션을 위한 최적의 선택이 가능합니다. 이 기계를 통해 사용자는 최소한의 운영자 개입으로 높은 수율과 일관된 반복성을 얻을 수 있으며, 이는 반도체 제조업체, 연구 개발 시설, 실험실 등에 적합한 선택입니다.