판매용 중고 KOMATSU MPG-300 #169319

코마츠 MPG-300 (KOMATSU MPG-300) 은 반도체 업계에서 가장 높은 생산 수요를 충족하도록 설계된 최고급 웨이퍼 처리 장비입니다. 가장 까다로운 고객에게 탁월한 성능을 제공하는 완전 자동화 시스템 (Fully Automated System) 입니다. MPG-300 은 현재 시판되고 있는 최첨단 프로세스 모니터링 (process monitoring) 기술을 활용하는 인라인 (in-line) 솔루션입니다. 통합된 로드 잠금 장치를 통해 KOMATSU MPG-300 은 처음부터 끝까지 일관되고 균일 한 프로세스를 유지함으로써 탁월한 처리량과 품질을 보장합니다. 이 기계에는 프로세스 매개변수를 정확하게 제어하고 에칭 (etching), 증착 (deposition), 스퍼터링 (sputtering) 과 같은 중요한 프로세스 단계를 보다 효율적으로 제어할 수 있는 웨이퍼 레벨 센서가 포함되어 있습니다. MPG-300 툴은 처리량을 높이고 주기 시간을 단축하도록 설계되었습니다. 향상된 활동에는 온도 및 압력 제어, 향상된 검사 모듈, 향상된 청소 실 자동화, 향상된 웨이퍼 전송 시스템 (wafer transport system) 에 대한 초점이 포함됩니다. 뛰어난 정확성과 반복성을 보장하여 주기 (cycle) 시간을 줄이고 생산성을 극대화합니다. 또한 KOMATSU MPG-300은 로봇 로더/언로더 (옵션) 및 완전 자동 자동 자동 로더/언로더로의 업그레이드 (옵션) 등 다양한 작업 옵션을 제공합니다. 광범위한 모듈식 (modular) 설계를 통해, 자산은 고객의 개별 생산 요구에 맞게 확장/축소할 수 있습니다. 또한 소프트웨어 패키지 (옵션) 를 사용하면 운영자가 고유한 프로세스 요구 사항에 맞게 모델을 사용자 정의할 수 있습니다. MPG-300은 청결 및 안전에 대한 모든 국제 표준을 준수합니다. 운용사· 장비에 대한 "위험 '과" 위험' 을 최소화하는 강력한 안전시스템을 갖추고 있다. 우수한 열 제어 장비, 공기 베어링 지원 부품, 저압 강제 공기 냉각 시스템 (Low-Pressure Forced Air Cooling System) 으로 뛰어난 안정성과 내구성을 제공합니다. KOMATSU MPG-300은 모든 웨이퍼 처리 장치의 최상위 솔루션입니다. 고급 프로세스 모니터링 (Process Monitor) 기술과 다양한 작업 옵션 및 사용자 지정 기능을 결합합니다. 따라서 가장 까다로운 운영 요구 사항을 충족할 수 있습니다.