판매용 중고 KOMATSU MPG-300 #169315

KOMATSU MPG-300은 효율적이고 정확한 웨이퍼 생산을 위해 설계된 고급 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템에는 대용량 로드 포트, 다중 로드 보드, 멀티 리플렉터 현미경, 가스 처리 장치 및 플라즈마 클리닝 머신이 장착되어 있습니다. 로드 포트는 다양한 크기로 최대 200 개의 웨이퍼를 운반 할 수 있습니다. 또한 고급 제어 도구 (Advanced Control Tool) 를 사용하여 사용자가 처리 중 웨이퍼의 정확한 위치와 방향을 제어할 수 있습니다. 데이터 통신을 위해 에셋에는 FOUP (Front Opening Unified Pod) 로봇 모델 및 MPI (Multimedia Protocol Interface) 인터페이스가 장착되어 있어 기존 또는 신규 시스템의 전체 장비를 제어 할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 사용자 친화적인 메뉴 방식 작업 패널 (operation panel) 이 장착되어 있어 몇 번의 클릭만으로 필요한 작업을 쉽게 수행할 수 있습니다. 기계 의 광학 "열 '은 자동 초점 도구, 다양 한 광학" 렌즈' 와 "필터 ', 그리고 몇 개 의 광학" 셔터' 로 구성 되어 있다. 이를 통해 사용자는 렌즈 종속 뷰 (field of view) 를 조정하고 특정 응용 프로그램에 적응할 수 있습니다. 또한, 광학 열은 브라이트필드, 다크필드, 형광 등과 같은 다양한 이미징 기술을 지원합니다. 또한 중요한 정렬을 위한 LED와 장거리 이동을 위한 광학 확대/축소 LED도 포함되어 있습니다. 이 자산은 효율성을 높이고 사람의 오류를 줄이기 위해 자동 로드 (auto loading) 및 언로드 (unloading) 모델을 갖추고 있습니다. 또한 고급 가스 처리 (gas handling) 장비를 장착하여 시스템 열 안정성과 성능을 향상시킵니다. 이 단위에는 산소 시간 에칭 및 순수한 Ar 시간 에칭을 포함한 다양한 플라즈마 청소 프로세스가 있습니다. "플라즈마 '청소기 는 안전 한 작업 환경 을 마련 하면서 경제적 으로 표면 을 깨끗 이 하도록 설계 되었다. 전반적으로 MPG-300은 효율적이고 정확한 웨이퍼 처리 솔루션을 제공합니다. 사용자 친화적 인 작동 패널, 멀티 리플렉터 현미경, 가스 처리 도구, 플라즈마 청소 자산 등을 갖춘 대량 생산 용으로 특별히 설계되었습니다. 다양한 이미징 기법과 광 구성 요소를 사용하면 각 응용 프로그램에 맞게 정확하게 조정할 수 있습니다. 또한, 고급 가스 처리 장비와 함께 자동 로드 (auto loading) 및 언로드 (unloading) 모델은 효율성을 높이고 사람의 오류를 줄이는 데 더 도움이됩니다.