판매용 중고 KOLB PS07 ST #293642590

KOLB PS07 ST는 반도체 산업을 위해 설계된 고급 독립형 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 클리닝 및 코팅, 가공 정렬 및 리소그래피, 습식 화학 에칭 및 드라이 필름 증착 (dry film deposition) 을 포함한 다양한 응용 분야에 사용됩니다. 이 장치 의 주성분 은 진공 작업 "챔버 '인데, 진공 작업" 챔버' 는 각 단계 에 대한 최적 의 압력 과 환경 을 유지 하기 위해 밀봉 된다. 이 작업실 은 "스테인레스 '강 으로 만들어져 높은 수준 의 내식성 과 청결성 을 제공 한다. 가공 스테이션에는 웨이퍼 보트 (wafer boats) 와 같은 웨이퍼 가공을위한 필요한 장비가 들어 있으며, 베이킹, 포토 esist 코트, 노출 및 개발 단계 동안 웨이퍼가 제자리에 있습니다. 웨이퍼는 용광로 또는 핫플레이트로 가열 할 수 있습니다. 노출 및 개발 주기는 완전하게 자동화된 프로세스 단위로 제어됩니다. "로봇 '암 은" 웨이퍼' 를 한 처리소 에서 다음 으로 정확 하게 이동 시키는 데 사용 되며, 높은 정확도 와 반복성 으로 그렇게 할 수 있다. 이 기계에는 프로세스 모니터링을위한 다양한 표준 센서 (standard sensor) 와 계기 (instrumentation) 가 포함되어 있으며, 각 단계 동안 정확한 샘플 정렬을 위한 통합 비전 (integrated vision) 도구가 포함되어 있습니다. 시력 자산은 와퍼 보트 (wafer boats) 의 와퍼 (wafer) 와 사람의 개입없이 정확한 좌표를 감지하는 광학 센서에 의해 백업됩니다. KOLB PS 07 ST는 유지 관리가 용이하며 매우 정확하고, 안정적이며, 반복 가능한 성능을 제공합니다. 이 모델은 두꺼운 필름 증착, 스퍼터링, 포토 리토 그래피 및 웨이퍼 결합을 포함한 다양한 웨이퍼 처리 응용 프로그램에 사용될 수 있습니다. 이 장비는 특히 고정밀도 컴포넌트의 볼륨 생산에 적합하므로 일괄 처리 (batch consistency) 와 품질 관리 (quality control) 가 완벽하게 보장됩니다.