판매용 중고 KOLB PS 03 #9353306

KOLB PS 03은 도량형, 박막 증착, 포장, 와이어 본딩 및 기타 고정밀 작업과 같은 다른 반도체 응용 프로그램에 사용하도록 설계된 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 대용량 어셈블리 작업에서 안정적이고 정확한 처리 기능을 제공하도록 설계되었습니다. PS 03은 두 가지 주요 구성 요소 (웨이퍼 처리 장치 및 고정밀 작동 장치) 로 구성됩니다. 웨이퍼 처리 장치는 고정밀, 압전 액추에이터 (piezoelectric actuator) 및 회전 단계 (rotary stage) 로 구성되어 기판의 정확하고 반복 가능한 위치 지정 및 이동이 가능합니다. 이는 처리 중에 정확한 웨이퍼 정렬을 보장하며, 이는 고수율, 높은 신뢰성 생산에 필요합니다. 이 기계는 또한 열악한 환경에서 정확한 작동을 위해 진동 감쇠 및 온도 조절을 통합합니다. KOLB PS 03의 고정밀 작동 도구는 정밀도 조정, 마이크로 프로세서를 사용하여 빠르고 안정적이며 반복 가능한 결과를 제공합니다. 디지털 제어 보드 (Digital Control Board) 를 사용하면 다양한 매개변수를 프로그래밍하여 다른 프로세스 단계에 대해 작업을 사용자 정의할 수 있습니다. 이 자산은 또한 쉽게 프로그래밍하고 작동시킬 수있는 직관적 인 사용자 인터페이스를 제공합니다. PS 03에는 웨이퍼 처리를 용이하게하는 다양한 도구가 포함되어 있습니다. 정전기 "커커 '는" 기판' 을 처리 장치 에 안전 하게 대는 데 사용 되고, 정밀 탐사선 은 "필름 '두께 와 저항력 을 측정 하는 데 사용 된다. 모델의 통합 플라즈마 토치, Cu 증착 및 CMP 도구를 사용하여 에칭, 패터링 및 열 확산 등의 프로세스 단계를 수행 할 수 있습니다. 이 장비에는 전자현미경 주사 (Scanning Electron Microscope) 및 기타 비접촉 도량형 도구 (Non-Contact Metrology Tools) 와 같은 검사 및 테스트 장비도 포함되어 있습니다. KOLB PS 03은 대용량, 정밀 웨이퍼 처리 애플리케이션의 요구를 충족할 수 있습니다. 신뢰성 있고 정확한 성능은 높은 (높은) 공정 수익률과 제품 품질을 보장하며, 반도체 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.