판매용 중고 KERRY SC-1000 #9183721

케리 SC-1000 (KERRY SC-1000) 은 최고 수준의 정확성과 신뢰성이 필요한 고객을 위해 설계된 정밀 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 프로세스 챔버 작업, 샘플 전송, 제품 처리 기능을 제공하는 모든 기능을 갖춘 습식 프로세스 장치입니다. 모듈식 설계를 통해 다양한 제품 요구 사항을 충족하도록 구성할 수 있습니다. SC-1000에는 펄스 블라스터 (Pulse Blaster) 컨트롤러와 웨이퍼 처리 매개변수를 제어 및 모니터링할 수 있는 소프트웨어 패키지가 포함되어 있습니다. 또한 낮은 수준의 액체 측정을위한 저류 전환, 습식 공정 솔루션의 열 관리, 배치 프로그래밍, 성장 모니터링 (growth monitoring) 과 같은 내장 안전 기능이 있습니다. 이 기계는 표준 웨이퍼 크기와 비표준 크기를 모두 처리 할 수 있습니다. 여기에는 정밀 웨이퍼 척 (wafer chuck) 도구와 한 프로세스 단계에서 다른 프로세스 단계로 웨이퍼를 이동하기위한 프로그래밍 가능한 로봇 암 (robot arm) 을 갖춘 웨이퍼 처리 에셋이 포함됩니다. 웨이퍼 처리 모델에는 내장 기판 청소 장비도 있습니다. KERRY SC-1000은 리소그래피, 에치, 산화, 확산 및 박막 증착을 포함한 다양한 프로세스 유형을 제공합니다. 정확도가 높은 정밀 에치 및 리소그래피 프로세스가 가능합니다. 웨이퍼 클리닝 시스템 때문에 산, 플루오린, IPA 솔루션 등 다양한 클리닝 미디어를 사용할 수 있습니다. 이 장치는 Si, GaAs, SiGe, CdS 및 Ge를 포함한 다양한 유형의 기판과 호환됩니다. SC-1000은 높은 생산성을 위해 설계되었습니다. 모듈식 설계를 통해 실행 중인 프로세스를 빠르고 쉽게 변경할 수 있으며, 이는 연구, 제품 개발, 프로토타입 (prototyping), 생산 (production) 에 이상적입니다. 또한 사용자정의 프로세스 제어 카메라 (customized process control camera) 와 같은 옵션을 사용하여 특정 프로세스 매개변수를 선택하고 제어판 (control panel) 에서 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. KERRY SC-1000은 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 이 기계는 강도와 내구성을 제공하기 위해 스테인레스 스틸 프레임 (stainless steel frame) 으로 구성되었으며, 습식 공정 도구는 밀봉되고 누출되지 않도록 설계되었습니다. Pulse Blaster 컨트롤러는 안정적인 작동을 위해 디지털 신호 처리 및 고급 알고리즘을 실행합니다. SC-1000은 정밀 웨이퍼 처리를 위한 최고의 솔루션입니다. 안정성, 반복 가능성 및 최대 성능을 위해 설계되었습니다. 이 자산은 정밀도가 필수적인 어플리케이션용으로 설계되었으며, 모듈식 디자인 (modular design) 과 고급 제어 옵션 (advanced control options) 은 제품 개발 및 생산에 가장 적합합니다.