판매용 중고 KARCHER HD 555 #97549
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KARCHER HD 555는 KARCHER에서 제조 한 고급 웨이퍼 처리 장비입니다. 소형 자동 시스템으로, 사이클 당 최대 5 개의 300mm 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 여기에는 최대 16 개의 고유 한 프로세스를 포함한 다양한 프로세스 옵션이 포함됩니다. 자동 기능에는 도량형, 레이저 정렬 및 에칭, 클리닝, 증착 및 스트립과 같은 다양한 습식 프로세스가 포함됩니다. 이 장치는 멀티 스테이지 웨이퍼 (wafer) 전송 플랫폼을 사용하여 웨이퍼와 프로세스를 정확하게 정렬합니다. HD 555는 압력, 온도, 유량, 청소 솔루션 등의 기계 공정 상태를 정확하게 제어합니다. 균일 한 처리는 모든 웨이퍼에서 반복성을 보장합니다. 모듈식 설계를 통해 새로운 프로세스 요구 사항을 충족할 수 있도록 Tool 업그레이드를 손쉽게 구현할 수 있습니다. 이 자산은 금속 백업 챔버 (metal-backed chamber), 제어판 잠금 (Control Panel Lockout) 및 전원 차단 (Power-Down) 기능과 같은 다양한 안전 기능을 갖추고 있어 극한 상황에서도 안전하고 효율적인 작동이 가능합니다. 강력한 프로세스 제어 소프트웨어는 KARCHER HD 555가 다양한 프로세스 요구 사항에 대해 안정적이고 반복 가능한 처리를 제공하도록 도와줍니다. 또한 HD 555에는 카세트와 카세트 간 교환, 실시간 이미지 처리, 다양한 통신 및 모니터링 기능 등 다양한 자동화 기술이 포함되어 있습니다. 이러한 자동화 기술을 통해 KARCHER HD 555는 프로세스 제어 및 안전 수준을 높일 수 있습니다. 또한 HD 555는 특정 고객 요구를 충족할 수 있는 다양한 옵션 모듈을 제공합니다. 여기에는 이온 빔 밀링, 절제 및 반응과 같은 공정 특정 모듈이 포함됩니다. 또한, 모델은 픽 앤 플레이스 (pick-and-place) 및 트랜스퍼 트럭 (transfer truck) 과 같은 다양한 로봇 배치 시스템을 수용하도록 구성 될 수 있습니다. 전반적으로 KARCHER HD 555는 다양한 어플리케이션에 대한 탁월한 프로세스 제어, 안전, 안정적인 성능을 제공하는 고급 웨이퍼 (wafer) 처리 장비입니다. HD 555는 매우 다양한 웨이퍼 처리 요구를 고려하여 설계되었습니다. 모듈식 설계를 통해 운영 라인의 업무 중단을 최소화하면서, 빠르고 간편한 시스템 확장 및 장치 업그레이드가 가능합니다 (영문).
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