판매용 중고 JEOL TAM200XM-S #293649787

JEOL TAM200XM-S는 집적 회로의 프로토 타이핑 및 생산에 사용되는 고급, 기타 웨이퍼 처리 장비입니다. 웨이퍼 처리 도구의 주요 제조업체 인 JEOL (JEOL) 이 설계 한 TAM200XM-S는 최대 200mm 웨이퍼를 처리 할 수있는 자동 시스템입니다. 즉, 수직 (vertical), 단단 (single-stage) 전송을 활용하여 여러 프로세스 챔버를 통해 웨이퍼를 운반하므로 다양한 기판에서 일관되게 정밀한 작업을 수행할 수 있습니다. 에칭 (etching), 증착 (deposition), 이온 이식 (ion implantation), 광석기 패턴 (photolithographic patterning) 및 열 산화 (thermal oxidation) 등 다양한 사용자 작업이 특징입니다. 또한 JEOL TAM200XM-S 는 온도, 압력, 유속 (flow rate) 에 대한 고급 제어 측정 및 옵션을 제공하여 필요한 프로세스에 대해 높은 수준의 조정성을 제공합니다. 이 장치는 또한 레이저 간섭계 (laser interferometry) 및 기판 히터 (기판 히터) 와 같은 다양한 지원 장비를 통합 할 수 있습니다. 이 시스템에는 통합 CVC + 플랫폼이 있으며, 이 플랫폼은 사용자가 단일 제어판 (Control Panel) 에서 모든 기본 웨이퍼 처리 기능에 액세스할 수 있도록 해줍니다. 또한 CVC + 를 사용하여 특정 레시피를 사용자 정의하고, 주기 시간을 설정하고, 적절한 정렬을 확인하고, 수율을 계산할 수 있습니다. 또한 CVC + 는 도구 상태 모니터링, 유지 관리 스케줄링, 각 웨이퍼 처리 과정에서 발생하는 문제 해결을 위한 데이터 분석 등을 지원합니다. 마지막으로 TAM200XM-S는 광학 센서 자산 (OSS) 및 습식 프로브 (wet probe) 를 포함한 다양한 고급 도량형 기능을 사용합니다. OSS (OSS) 는 웨이퍼 (wafer) 를 진행 중이지만 습식 프로브는 웨이퍼 (wafer) 표면을 가로 질러 밀도 높은 패턴으로 광범위한 측정을 제공합니다. 이는 JEOL TAM200XM-S 의 업그레이드 가능한 소프트웨어 (업그레이드 가능한 소프트웨어) 와 결합하여 사용자가 최신 업계 개발을 통해 최신 상태를 유지할 수 있도록 합니다. 따라서 TAM200XM-S는 집적 회로의 프로토 타이핑 및 생산을위한 고급 자동 처리 솔루션을 제공합니다.