판매용 중고 JAPAN ANALYTICAL INDUSTRY / JAI LC908 #293603433

일본 분석 산업/JAI LC908은 JAI의 고급 기타 웨이퍼 처리 장비입니다. 여기에는 고성능 재료, 견고한 구성, 고급 (Advanced) 기술을 결합하여 통합 웨이퍼 처리 기능을 보장하는 최적화된 디자인이 포함되어 있습니다. 전용 로딩, 증발 전, 반응 및 냉각 단계를 갖춘 다목적 4 챔버 구성, 고정밀 압력 제어 범위 (0.1 - 700 Torr) 및 최적화된 프로세스 제어를 위한 구성 가능한 압력 및 온도 설정을 포함합니다. 이러한 기능은 직관적인 휴먼 머신 인터페이스 (human-machine interface) 및 고급 자동화 (advanced automation) 와 결합하여 일관성 있고 반복 가능한 작동과 신뢰성 있는 고품질 결과를 제공합니다. JAI LC908 은 대용량 웨이퍼 (Wafer) 용량과 고해상도 이미징, 그리고 직접 프로세스 및 레시피 개발을 위한 사용이 간편한 플랫폼 등을 통해 높은 처리량을 제공합니다. 이 시스템은 다양한 웨이퍼 (wafer) 와 부드럽고 일관된 프로세싱을 통해 최적화된 수율을 제공하도록 설계되었습니다. 주요 기능으로는 적외선 기술을 활용하는 고해상도 열 이미징, 초순수 산소 제어 (ultra-pure oxygen control), 폐쇄 루프 온도 및 압력 제어 (closed-loop temper and pressure control), 동적 프로세스 모니터링 및 분석 기능이 있는 비활성 비활성 환경 등이 있습니다. 일본 분석 산업 LC908의 독특한 디자인은 0 ° C ~ 400 ° C의 온도 범위를 포함하며, 도전적인 재료 및 고온 웨이퍼 프로세스에 적합합니다. 열 반사율 (thermographic reflectance) 을 사용한 열 이미징은 온도를 실시간으로 모니터링하고 제어하여 최적의 성능을 제공합니다. 진공은 닫힌 루프 압력 제어 장치를 사용하여 유지되므로 정밀한 프로세스 제어가 가능합니다. 또한, 기계의 온도, 유속, 압력은 모두 같은 챔버 내에서 조정 될 수있다. 다른 기능으로는 사이클링이 빠른 자동 로드/언로드 도구, 개별 웨이퍼의 효율적인 로드, 언로드, 전송이 가능한 통합 트랙/카트 에셋 (Track/Cart Asset) 이 있습니다. 전반적으로 LC908 은 강력하고 사용자 친화적인 혁신적인 wafer 처리 모델입니다. 고정밀 재료와 고급 엔지니어링 (Advanced Engineering) 의 조합은 온도, 흐름 속도, 압력 설정 등의 일관된 반복 가능한 결과를 제공합니다. 직관적인 제어, 신뢰할 수 있는 프로세스 모니터링, 자동화된 운영 기능을 갖춘 이 장비는 최신 웨이퍼 (Wafer) 제작에 이상적인 솔루션입니다.