판매용 중고 JA SUNG ST-111 #9215488

JA SUNG ST-111은 반도체 제조를 위해 설계된 웨이퍼 처리 장비입니다. 강력한 웨이퍼 처리 기술과 프로세스 제어 (process control) 기능을 통해 안정적인 수율을 제공합니다. 단면 및 양면 웨이퍼 처리가 모두 가능합니다. 백사이드 그라인딩, 에칭, 스퍼터링 또는 도량형 검사를 위해 시스템을 구성 할 수 있습니다. 자동화된 웨이퍼 공급 장치 (automated wafer feeding unit) 는 오염을 최소화하면서 밀접하게 제어된 플럭스 수준과 이송 속도를 제공하여 처리량을 높입니다. 이 기계에는 여러 프로세스 챔버 (process chamber) 가 장착되어 있어 다중 모듈 (multi-module) 방식을 사용하여 서로 다른 프로세스를 병렬로 실행할 수 있습니다. 따라서 프로세스 다운타임을 최소화하면서 각기 다른 화학 물질, 온도, 압력 등을 활용하여 처리량을 증가시킬 수 있습니다. 또한 인사이트 (in-situ) 실시간 프로세스 제어 및 진단이 가능한 고속 샘플링 툴이 장착되어 있습니다. 온도 조절 챔버는 열적 비 균일성을 감소시키고 프로세스를 방지하고 손실을 산출합니다. 자산에는 웨이퍼에 대한 자세한 분석을 제공하기 위해 고급 인라인 도량형 장치가 포함되어 있습니다. 이는 웨이퍼 코팅 균일성을 보장하고 프로세스 수율을 최적화합니다. 이 모델에는 제어 장비 (Control Equipment) 가 완전히 통합되어 있어 원격으로 작동할 수 있으며, 데이터 로깅 및 모니터링을 위해 다른 시스템과 통합될 수 있습니다. 또한 구성 능력이 뛰어나며, 특정 프로세스 요구 사항에 맞게 최적화될 수 있습니다. ST-111은 대용량 생산 작업에 이상적인 선택입니다. 경제적인 비용으로 높은 처리량 및 프로세스 생산량을 보장하여 반도체 웨이퍼 (Wafer) 제작에 이상적입니다. 광범위한 구성 기능을 통해 다양한 애플리케이션과 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 이 시스템은 견고한 설계/프로세스 제어 (design and process control) 기능을 통해 가장 복잡한 디바이스 구성 프로세스의 수율을 극대화하는 데 도움이 될 수 있습니다.