판매용 중고 ION SYSTEMS 6441 #293647163

ION SYSTEMS 6441
ID: 293647163
Ionizing air blower.
ION SYSTEMS 6441 Wafer Processing Equipment 는 반도체 디바이스 구성 프로세스를 위한 완전 자동화된 고출력 솔루션입니다. 이 제품은 최대 200mm 직경의 1/3 ~ 8 크기와 최대 20 개의 웨이퍼를 병렬로 처리하도록 설계되었습니다. 일관성 있고 고품질 성능을 제공하며 에칭, 증착, 리소그래피, 도량형 (metrology) 등 다양한 웨이퍼 처리 기능을 수행할 수 있습니다. 이 시스템은 모듈식 (modular) 설계를 통해 기존 운영 솔루션과의 사용자 정의 및 통합을 지원합니다. 6441 에는 고유하고 강력한 I/O 장치가 장착되어 있어 처리량이 높고 빠른 데이터 전송이 가능하므로 배치 (batch) 및 레시피 (recipe) 파일 처리에 소요되는 시간이 단축됩니다. 이 기계는 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수 있으며, 새로운 고급 (advanced) 프로세스에 맞게 조정할 수 있습니다. 또한 다양한 공정 화학 물질을위한 다양한 특수 가스 및 전구체를 지원합니다. 또한 ION SYSTEMS 6441 은 최고의 로봇 공학, 영역, 클러스터 툴 시스템과 통합하여 운영 라인을 완벽하게 통합 및 자동화합니다. 6441 은 견고하고, 안정적이며, 정확한 툴로서, 여러 개의 센서와 진단 기능을 통해 생산되는 동안 최고의 제어와 정확성을 보장합니다. 전체 접지 작업 패널 (Work Panel) 과 고유한 모듈식 설계 (Modular Design) 를 통해 구성 요소 및 공간 구성을 사용자 정의할 수 있습니다. 이 자산은 자동 레시피 생성, 프로그래머블 로직 컨트롤러, 로봇 인터페이스, 고해상도 카메라, 고급 분석 및 진단 응용 프로그램 등의 고급 기능을 제공합니다. 이 모델에는 안전 및 환경 보증을 위해 고급 차폐 (shielding) 및 보안 장치가 장착되어 있습니다. ION SYSTEMS 6441은 손쉽게 작동할 수 있도록 설계되었으며, 터치 스크린 디스플레이, LED 상태 표시기 및 직관적인 사용자 인터페이스가 특징입니다. 또한 사용자 지정 프로세스 자동화를 위한 Visual Basic 스크립팅 언어를 제공하여, 신속하게 프로그래밍하고 신규/기존 운영 솔루션과 통합할 수 있습니다. 원격 입출력 (I/O) 시스템과의 원활한 연결을 통해 제조 담당자가 어떤 위치에서든 운영을 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 결론적으로, 6441은 반도체 장치 제작 프로세스에 대한 신뢰할 수 있고 정확한 높은 생산 솔루션입니다. 프로세스 매개변수, 처리량 증가, 안전 및 환경 보장, 직관적인 사용자 인터페이스 등을 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 장비에는 고급 차폐 (shielding) 및 보안 장치, 자동 레시피 생성 (recipe generation) 이 장착되어 있어 로봇, 영역 및 클러스터 도구와 원활하게 통합하고 자동화할 수 있습니다. 또한 다른 공정 화학 물질을 충족시키기 위해 특수 가스 및 전구체를 지원할 수 있습니다. 즉, 운영자에게 최고 품질의 제품을 생산하는 데 필요한 정확성과 유연성을 제공합니다.
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