판매용 중고 INMATEC IMT-SN 1750 #148724
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ID: 148724
Nitrogen generator
Maximum performance: 13,500 liters per hour
Maximum purity: 97%
Supply pressure: 13 bar
Truck tyres: 9 to 10 pieces per hour
Additional tyres from tank: 12 pieces per hour
Automatic switch-off at self-adjustable limiting pressure.
INMATEC IMT-SN 1750 (INMATEC IMT-SN 1750) 은 여러 유형의 반도체 부품 및 장치의 개발 및 생산에 사용되는 고급 웨이퍼 처리 장비입니다. 프로세스의 표준화를 위해 설계되었으며, 이는 궁극적으로 생산 수준을 높이고 생산 시간을 단축시킵니다. 이 기계는 모듈 식 '빌더 개념 (builder concept)' 을 사용하며 다양한 생산 요구에 쉽게 적응할 수 있습니다. Wafer 처리 시 최대의 유연성과 정확성을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 사용자 지정 레시피를 사용하여 시스템을 구성할 수 있으며, 이를 통해 시스템 적응성을 더욱 높일 수 있습니다. 이 기계에는 최첨단 웨이퍼 처리 장치 (state-of-the-art wafer handling unit) 가 있으며 실린더 위치에서 웨이퍼를 자동으로 이동하기위한 전송 모듈이 있습니다. 방열 검사 장치 (thermal inspection machine) 도 있으며, 성공적인 처리 단계에서 웨이퍼의 온도를 모니터링합니다. 기계 는 화학적 인 높은 온도 를 달성 할 수 있으며, 그 과정 이 수행 될 수 있는 이상적 인 진공 환경 을 조성 한다. 그 는 이렇게 말 한다. IMT-SN 1750 웨이퍼 처리 도구의 주요 기능에는 에칭, 증착 및 리프트 오프 프로세스가 포함됩니다. 산업 표준을 충족하는 반복 가능한 프로세스 매개변수로 깨끗한 챔버로 처리합니다. 모든 처리 단계는 하나의 통합 모듈 (Integrated Module) 에서 실행되므로 프로세스를 원활하게 조합하고 주기 (Cycle) 시간을 대폭 단축할 수 있습니다. 이 자산은 또한 비용 효율적인 스퍼터 증착 처리를 제공하는 빠른 작동 노즐을 특징으로합니다. 조정 가능한 자기장 (magnetic field) 에 의해 더욱 향상되어 목표 영역을 조절하고 프로세스 정확도를 향상시킵니다. 스캐닝 (Scanning) 애플리케이션은 빠르고 정확한 패턴 배치 (Pattern Placing) 를 보장하며, 실시간 모니터링 시스템에서는 프로세스가 오류 (Dicing Error) 없이 실행되도록 합니다. 프로세스 안전을 보장하기 위해 기계는 여러 경고 신호와 경고 (alarm) 를 통합하여 연산자에게 잠재적 인 문제를 경고합니다. 또한 열 측정 모델 (thermal measurement model) 도 장착되어 있어 처리 온도가 원하는 작동 매개변수 내에 유지됩니다. 결론적으로, INMATEC IMT-SN 1750은 제조업체가 광범위한 반도체 구성 요소 및 장치를 개발하고 생성 할 수있는 고급 웨이퍼 처리 장비입니다. 완전 자동화 된 웨이퍼 처리 시스템을 갖추고 있으며, 최고의 정확성과 유연성을 제공합니다. 통합 처리 모듈은 프로세스 처리량을 최대화하는 반면, 열 검사 장치는 반복 가능한 프로세스 결과를 보장합니다. 또한 실시간 모니터링 시스템은 최고 수준의 프로세스 보안을 보장합니다.
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