판매용 중고 HONDA / HITACHI HUS-5 #9354061

HONDA/HITACHI HUS-5는 passivation, annealing, photoresist ashing 및 dielectric etching과 같은 프로세스를 위해 설계된 웨이퍼 처리 장비입니다. 1 시간 안에 최대 600 개의 웨이퍼를 처리 할 수있는 고성능 기계입니다. 기계는 또한 압력, 온도, 시간과 같은 모든 프로세스 매개변수를 제어 할 수 있습니다. 이 기계는 여러 안전 연결 (Safety Interlock) 을 사용하여 사용자 안전 및 프로세스 제어를 보장합니다. 온도 조절은 PID 제어에 의해 0.1 ° C, 최대 작동 온도는 350 ° C입니다. 또한, 기계에는 이중 방향 핫 에어 나이프 (hot air-knife) 가 장착되어 있으며, 문제가 발생할 때 프로세스를 빠르게 멈출 수 있습니다. 또한 자체 검사 기능이 내장되어 있어 작동 중에 발생할 수 있는 모든 문제를 감지, 경고, 수정할 수 있습니다. 그 에 더하여, 기계 에는 자외선 과 "마이크로파 '기술 을 사용 하여 보다 깨끗 한 처리 환경 을 보장 하는 고급" 클리닝' 장치 가 갖추어져 있다. 이 장치는 이중 영역 리플렉터 램프 (dual-zone reflector lamp) 와 재연결을 방지하는 히터 배기 기계에 의해 더욱 향상됩니다. 이 기계는 또한 고성능 플라즈마 챔버 (Plasma Chamber) 로 설계되어 챔버를 깨끗하게 유지하고 프로세스를 반복하고 일관되게 유지하는 데 도움이됩니다. 결과의 균일성을 보장하기 위해, 기계에는 조정 가능한 스캐닝 전극, 셔터 도구, 독립 온도 조절 자산이 장착되어 있습니다. 이러한 기능을 통해 기계는 처리 된 각 및 모든 웨이퍼의 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 최고 품질을 유지하기 위해 웨이퍼 처리 장치 (Wafer Processing Machine) 에는 통합 소프트웨어 모델도 보완됩니다. 이 소프트웨어에는 효율적이고 직관적인 제어가 가능한 사용자 친화적 인터페이스 세트가 있습니다. 또한 여러 프로그램을 동시에 실행할 수 있게 해 주므로 생산성 (Productivity) 과 결과 (Result) 를 극대화할 수 있습니다. 결론적으로, HONDA HUS-5는 한 시간에 최대 600 개의 웨이퍼를 정확하고 안정적으로 처리 할 수있는 고성능 웨이퍼 처리 기계입니다. 고급 클리닝 시스템과 결합된 온도와 시간 제어 (time control) 같은 안전 기능이 내장되어 있어 일관성 있는 고품질 (high-quality) 결과를 얻을 수 있습니다.