판매용 중고 HILGER & KERN Vario-mix A1 #9134137

HILGER&KERN Vario-mix A1은 자동 웨이퍼 처리 장비로, 전체 웨이퍼 처리, 베이킹/어닐링 및 도핑에 필요한 모든 필수 프로세스 매개변수를 정확하게 제어합니다. 이 시스템은 고급형 반도체 웨이퍼를 효율적이고 안정적으로 생산할 수 있도록 설계되었습니다. Vario-mix A1은 한 번에 트레이당 최대 40 개의 웨이퍼를 수용 할 수있는 완전 자동화 처리 장치를 갖추고 있습니다. "웨이퍼 '는 표면 에 손상 될 위험성 없이 부드럽게 옮겨진다. 이 기계는 고급 제어 알고리즘 (advanced control algorithm) 으로 설계되어 반복 가능하고 안정적인 프로세스를 보장합니다. 도구의 GUI (Graphical User Interface) 를 사용하면 프로세스 매개변수를 쉽게 프로그래밍하고 조정할 수 있으므로 최적의 설정을 신속하게 결정할 수 있습니다. HILGER&KERN Vario-mix A1은 업계 최고의 결정 성장 및 도핑 프로세스를 제공합니다. 통합 HPA (High-Power Impulse Annealing) 자산을 사용하면 한 번에 최대 15 개의 웨이퍼를 균일하고 신뢰할 수 있습니다. 지연된 레이저 가열 (delayed laser heating) 을 갖춘 고급 공정 제어 모델 (advanced process control model) 을 사용하면 웨이퍼가 점차 식어 열 충격의 위험이 없어집니다. 시각화 된 레이어 제어 및 온보드 진단을 통해 HILGER&KERN 장비는 최고 품질의 제품을 제공합니다. HILGER&KERN 시스템은 액체 도핑 및 증기 도핑 방법, 자동 오염 검사기 (automatic contamination inspector) 를 포함하여 도핑을위한 다양한 공정 챔버를 지원합니다. 또한 고급 모니터링 시스템 (고급 모니터링 시스템) 을 제공하여 웨이퍼를 정확하게 정렬하고 배치할 수 있습니다. 마지막으로, Vario-mix A1은 잠재적 인 프로세스 오염을 방지하기 위해 진공 누출 탐지기를 특징으로합니다. HILGER&KERN Vario-mix A1 (HILGER&KERN Vario-mix A1) 은 시장에서 사용할 수 있는 안정성이 높고 안전하며 사용이 간편한 웨이퍼 처리 머신으로, 고품질의 고급 반도체 웨이퍼를 생산하도록 설계되었습니다. 이 툴은 다양한 고급 기능과 프로세스 제어 옵션 (process control options) 을 제공하여 효율성을 극대화하여 생산량을 극대화하고, 생산 시간을 최적화합니다.