판매용 중고 HEATHWAY System #9028775

HEATHWAY 장비 (HEATHWAY Equipment) 는 다기능 웨이퍼 처리 시스템으로, 효율성이 뛰어난 고품질 반도체 제품을 생산할 수 있습니다. 이 HEATHWAY 장치는 일관되고 안정적인 결과를 제공합니다. 기계에는 웨이퍼 처리 로봇, 웨이퍼 결합 챔버, 클리닝 HEATHWAY Tool 및 열/기계 처리 챔버의 4 가지 기본 구성 요소가 있습니다. 웨이퍼 처리 (wafer handling) 로봇은 처리 헤드에 웨이퍼를 정확하게 배치하도록 설계되었습니다. 충돌 방지 기능도 갖추고 있습니다. 웨이퍼 본딩 챔버 (wafer bonding chamber) 는 진공 보조 프로세스를 사용하여 웨이퍼를 안전하게 결합하여 균일성과 반복 성을 보장합니다. 청소 자산은 고효율 필터 및 센서를 사용하여 프로세스 관련 환경 오염을 줄입니다. 마지막으로, 열/기계 처리 챔버 (thermal/mechanical processing chamber) 는 사용자가 결정 성장, 증착, 도핑 및 기타 프로세스를 정확하게 제어할 수 있도록 합니다. HEATHWAY 모델의 아키텍처는 유지 관리 비용을 절감하도록 설계되었습니다. 여러 수준의 자동화 (automation) 를 활용하여 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 작업을 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 장비는 모듈식 (modular) 구성요소로 구성되며, 이를 통해 사용자는 쉽게 업그레이드하고 기능을 확장할 수 있습니다. HEATHWAY 시스템에는 비상 종료 장치 (Emergency Shutdown Unit) 및 활성 로그인 HEATHWAY 기계 (Active Login HEATHWAY Machine) 를 포함한 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다.도구는 다양한 재료 및 프로세스와 호환되도록 설계되었습니다. 최대 850 ° C의 온도를 처리 할 수 있으며 갈륨 비소 및 실리콘과 같은 재료를 처리 할 수 있습니다. HEATHWAY Asset은 최대 12 "의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 한 번에 최대 6 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 모델에는 다양한 모니터링 시스템 (monitoring system) 과 인터페이스 (interface) 가 장착되어 있어 wafer 진행 상황을 주시할 수 있습니다. HEATHWAY 장비 (HEATHWAY Equipment) 는 웨이퍼 처리를 위한 효율적이고 효과적인 시스템으로서, 뛰어난 효율성을 갖춘 고품질 반도체 제품을 제공합니다. 고급 설계 기능을 통해 일관되고 안정적인 결과를 얻을 수 있어 유지 보수 비용을 최소화할 수 있습니다 (영문).