판매용 중고 GREATSENSE GS-AIR-7 #293670957
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ID: 293670957
System
Capacity:
Down line and space: 7 µm
Copper thickness/space: ≤ 1.6
Materials:
Substrates: FR4, FR5, BT, PI, ABF
Thickness of substrate: 20 µm
Thickness of copper: 0-50 µm
Efficiency:
Copper thickness: 18 µm
Defect size: 40 x 10 µm²
Time: 30 sec
Connectivity:
ORBOTECH
CIMS
Machvision
YMZ AOI
GREATSENSE AVI
Informational functions:
QR Code reading functions
Reports
MES
Defect maps / Heat maps
Board size: 760x680 mm²
Board thickness: 50-10000 µm
Penetration to laminate: ≤5 µm
Deviation from normal line width: ≤ ±10%
Re-inspection magnification: 25X-400X
Available with customer-specific automation functions
Power supply: 220 V, 4.5 kW.
GREATSENSE GS-AIR-7은 다양한 산업 응용 프로그램을 위해 설계된 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 제품은 APP (Atmospheric Plasma Processing) 기술을 사용하여 고도의 웨이퍼 표면 준비 및 청소를 달성합니다. 이 시스템은 조정 가능한 "플라즈마 '매개변수의 고유한 조합을 제공하여 사용자 사이에서 선호하는 도구입니다. GS-AIR-7 (GS-AIR-7) 은 자동화된 시운전주기를 통해 장치를 설치하고 다양한 매개변수를 손쉽고 빠르게 조정할 수 있습니다. 이 기계에는 안전하고 효율적인 처리 환경을 제공하는 고급 플라즈마 처리 (plasma-processing) 구성 요소가 장착 된 견고한 산업용 진공실이 장착되어 있습니다. GREATSENSE GS-AIR-7에는 하나의 독립 RF 전원 공급 장치 출력이 있으며, 이를 통해 사용자는 확장 전원 범위의 플라즈마 매개변수를 조정할 수 있습니다. 또한 사용자가 실시간으로 도구를 제어할 수 있는 터치스크린 인터페이스 (touchscreen interface) 도 함께 제공됩니다. 에셋은 임플란트 활성화, 금속 산화물 증착, 표면 세척, 표면 수정, 청소 등 다양한 응용 분야에 사용될 수 있습니다. 전체적으로, GS-AIR-7은 직관적이고 효율적인 웨이퍼 처리 경험을 위해 조정 가능한 플라즈마 매개변수, 컴퓨터 제어 종점 감지, 오류 보고서, 경고 메시징, 자동 커미셔닝 등의 포괄적 인 기능을 제공합니다. GREATSENSE GS-AIR-7 모델은 내구성과 수명이 길도록 설계되었으며, 안정적이고 강력한 플라즈마 처리를 위해 필요한 모든 구성 요소를 포함합니다. 진공 조임 챔버 (vacuum-tight chamber) 를 사용하여 가공을 위해 비활성 대기를 제공하여 오염을 줄이고 생성 된 플라즈마의 수명을 최대화합니다. 통합 벡터 네트워크 분석기 (integrated vector network analyzer) 는 사용자가 방출되는 플라스마의 진폭 및 위상 특성을 정확하게 측정하도록 도와줍니다. 이 장비는 또한 플라즈마 소스 (plasma source) 의 선택 측면에서 높은 유연성을 제공하여 다양한 응용 프로그램에 적응할 수 있습니다. 시스템의 기본 버전에는 선형 정권과 비선형 정권 모두에서 생성 된 플라즈마 매개변수를 측정하기 위해 2 점 벡터 네트워크 분석기 (two-point vector network analyzer) 가 장착되어 있습니다. 또한, 고급 플라즈마 소스 (옵션) 를 장치에 추가하여 더 높은 정밀도 및 정밀도 클리닝을 달성 할 수 있습니다. GS-AIR-7은 이온 이식, 절제, 수성 청소, 수화, 에칭, 어닐링, 강수량 및 원자층 침착을 포함한 다양한 프로세스를 지원합니다. 마찬가지로, 팬 제어 (fan control) 옵션을 사용하면 다른 대상 기판에 대해 프로세스 매개변수를 최적화할 수 있습니다. 또한, 기계에는 웨이퍼 (wafer) 지형을 평가하고 다양한 프로세스 응용 프로그램에 적합한 도구가 장착되어 있습니다. 모두, GREATSENSE GS-AIR-7은 탁월한 성능과 빠른 처리 속도를 제공하는 효율적인 웨이퍼 처리 자산입니다.
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