판매용 중고 GREATSENSE GS-AIR-10 #293670974

GREATSENSE GS-AIR-10은 높은 처리량 생산 프로세스를 위해 설계된 완전 자동화된 정밀 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 전반적인 처리량, 효율성, 신뢰성을 향상시키는 다양한 기능을 제공합니다. GS-AIR-10 은 단일 프로세싱 주기로 최대 10 개의 웨이퍼 (wafer) 를 처리하여 처리량을 높일 수 있습니다. 지능적인 자동 (Automated) 기능을 통해 새로운 프로세스와 제품에 신속하게 적응할 수 있으므로 수작업이 필요 없습니다. 이 장치는 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. Gantry 로봇 웨이퍼 핸들러와 공정 챔버. 간트리 로봇 웨이퍼 핸들러 (Gantry Robot Wafer Handler) 는 프로세스 챔버 안팎에서 웨이퍼를 처리하기위한 정확한 방법을 제공하는 멀티 축 로봇 암입니다. "개트리 '" 로봇' 은 여러 가지 형태 의 "웨이퍼 '를 쉽게 처리 할 수 있도록 여러 가지 구성 즉" 웨이퍼' 크기 와 방향 으로 구성 할 수 있다. 공정 챔버는 어닐링 및 소결 공정에 대해 최대 1000 ° C의 온도를 허용합니다. 그것은 최대 10-2 Torr 레벨을 조정할 수있는 일체적이고 낮은 소음 진공 기계를 가지고 있습니다. 공구는 프로세스별 비품, 웨이퍼 전송 부품, 블랭킷 박스 (blanket box) 등을 선택하여 고객의 요구에 따라 사용자 정의할 수 있습니다. GREATSENSE GS-AIR-10은 최대 가동 시간 및 장애 분석을 위해 설계되었습니다. 제어 자산 (control asset) 은 실시간 데이터 로깅 기능으로, 모델 데이터를 모니터링하고 신속하게 장애를 파악하고 진단할 수 있습니다. 또한, 사용자 정의 가능한 매개 변수 (예: 열 브레이크 속도) 가있는 고급 제어 장비가 있습니다. 또한 자동 챔버 압력 이퀄라이제이션 (Automatic Chamber Pressure Equalization) 을 통해 처리량을 최적화하고 생산성과 반복성을 높일 수 있습니다. 이 시스템은 안전 및 환경 보호를 염두에두고 설계되었으며, 안전 보장 (Safety Assurance) 을 강화하기위한 폭발성 방지 (Explosion-Proof) 설계를 갖추고 있습니다. GS-AIR-10 (GS-AIR-10) 은 온도, 압력 및 웨이퍼 처리에 대한 고효율 단위의 정밀 제어가 필요한 고급 반도체 프로세스에 적합한 솔루션입니다. 프로세스 제어를 추가하기 위해, 기계에는 자동 웨이퍼 위치 정렬 도구 (Automatic Wafer Position Alignment Tool) 가 장착되어 있어 정확성을 보장할 수 있습니다. GREATSENSE GS-AIR-10 은 높은 처리량과 안정적인 성능을 제공하여 대용량 웨이퍼 처리에 이상적인 제품입니다.