판매용 중고 GRANVILLE PHILLIPS 330 #9094144

GRANVILLE PHILLIPS 330은 최적의 박막 웨이퍼 처리를 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 처리 장비입니다. 정밀한 박막 성능을 위해 우수한 압력 및 온도 조절을 보장하는 가스 박스 (gas box) 디자인이 특징입니다. 또한 설계를 통해 웨이퍼 테이블 (wafer table) 을 쉽게 액세스하여 에칭 프로세스 전반에 걸쳐 빠르게 샘플링할 수 있으며, 0.2 옹스트롬 (Angstroms) 만큼 작은 단계에서 에치 깊이를 조정할 수 있습니다. 330에는 6kW까지 전력 수준에서 안정적인 박막 품질을 보장하는 프로그래밍 가능한 고주파 RF 생성기가 포함되어 있습니다. 이 시스템은 또한 정확한 온도 측정을위한 저압 피로미터 (pyrometer) 와 압력 범위가 10-7 토르 (Torr) 인 진공 단위 (vacuum unit) 를 가지고 있습니다. RF 생성기 (generator) 와 웨이퍼 (wafer) 테이블 모두 조정이 가능하여 웨이퍼 전체에서 최적의 정확성과 균일성을 보장합니다. 기계의 opto-mechanical stage and software는 균일 한 에칭 및 정확한 등록을 위해 뛰어난 웨이퍼 정렬을 제공합니다. 추가 웨이퍼 형식을 지원하도록 소프트웨어를 업그레이드 할 수 있으므로 GRANVILLE PHILLIPS 330은 다양한 유형의 처리에 사용할 수 있습니다. 또한 배치 처리 (batch processing), 시간 및 비용 절감, 효율성 향상 등의 효과를 제공합니다. 330은 최적 안전 (Optimal Safety) 을 위해 설계되었으며, 인프라뿐만 아니라 운영자를 보호하기 위해 여러 안전 시스템을 갖추고 있습니다. EGSS (External Gas Supply Asset) 는 전원 장애 시 유해 가스가 챔버에 들어오지 않도록 보장하는 반면, 안전 연결 모델 (Safety Interlock Model) 은 활성 장비와 사용자 사이에 결정적인 장벽을 만듭니다. 이 시스템에는 수류 모니터 (Water Flow Monitor) 와 긴급 상황을위한 자동 종료 메커니즘도 장착되어 있습니다. GRANVILLE PHILLIPS 330은 일관된 성능으로 최고 품질의 박막 웨이퍼를 생산하도록 설계된 고급 웨이퍼 처리 장치입니다. 정밀 기능 및 수많은 안전 시스템이 실험실 및 산업 응용에 이상적입니다. 또한, 여러 형식의 처리 기능과 배치 처리 (Batch Processing) 기능을 통해 업계 사용자에게는 매력적인 선택이 됩니다.