판매용 중고 ESA Ultima Plus #9097308

ESA 울티마 플러스 (Ultima Plus) 는 반도체 제작을 위한 통합 솔루션을 제공하도록 설계된 아트웨퍼 (Art Wafer) 처리 장비의 상태입니다. 이 시스템은 업계 표준 Ultima 플랫폼을 기반으로 하며, 정밀 드라이브 메커니즘, 제어 시스템, 이미지 획득, 비전 검사 등 여러 기능이 통합되어 있습니다. 이 장치에는 웨이퍼 로더, 히터, 노출 후 베이크 스테이션 및 레이저 검사기가 포함됩니다. 요구 사항에 따라 Critical Dimension Scanning Electron Microscope, Electron Beam Inspection 또는 Etch Probing과 같은 특정 도구가 장비 제품군에 추가 될 수 있습니다. 웨이퍼 (wafer) 는 깨끗하고 반복 가능한 제조 공정을 보장하는 전용 환경에서 제어 온도, 습도, 압력으로 처리됩니다. 이 도구에는 웨이퍼 정렬 (Wafer Alignment) 및 웨이퍼 스틱 감지 (Wafer Stition Detection) 기능이 모두 장착되어 있어 로드 또는 언로드 중에 발생한 결함을 감지할 수 있습니다. 정렬 에셋 (Alignment asset) 은 처리 챔버에서 웨이퍼의 정렬을 보장하는 반면, 스틱 감지 모델은 웨이퍼 (Wafer) 와 처리 챔버 사이의 접착을 감지하고 측정합니다. 울티마 플러스 (Ultima Plus) 에는 각 레이어의 처리 매개변수를 자동으로 매핑하고 조정하는 제어 장비도 포함되어 있습니다. 또한 자동 데이터 로깅 시스템 (Automated Data Logging System) 을 사용하여 각 웨이퍼의 처리 정보를 저장하고 추적할 수 있습니다. 이렇게 하면 시간이 지남에 따라 프로세스를 최적화할 수 있으며, 프로세스 초기에 잠재적인 문제를 파악하여 다운타임을 크게 줄일 수 있습니다 (영문). 또한 이 장치에는 SPC (Statistical Process Control) 와 같은 다양한 소프트웨어 패키지가 포함되어 있어 운영 성능을 모니터링하고 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 이는 더 높은 수율을 달성하고 처리량을 높이는 데 도움이됩니다. 이 소프트웨어는 또한 장비 성능에 대한 원격 모니터링을 지원하므로, 예측 유지 보수 (Predictive Maintenance) 및 문제 조기 탐지를 지원합니다. ESA Ultima Plus 는 다양한 플랫폼으로, 특정 사용자 요구 사항을 충족하도록 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 이 머신은 업계 전반의 애플리케이션에 적합하며, 사용자가 웨이퍼 (wafer) 처리를 최대한 활용하도록 설계되었습니다.