판매용 중고 ENTEGRIS Ultra-6102 #9156643

ENTEGRIS Ultra-6102 (ENTEGRIS Ultra-6102) 는 다양한 웨이퍼 크기와 유형을 빠르고 정확하게 처리하도록 설계된 완전 자동 웨이퍼 처리 장비입니다. 최대 300mm 웨이퍼를 처리할 수 있으며, 대용량 (High Volume), 높은 처리량을 제공합니다. 이 시스템은 최고의 정확성과 정확성을 위해 설계되었으며, 실험실 환경 toindustrial 생산 처리 (toindustrial production processing) 의 연구 응용 프로그램으로부터 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. Ultra-6102는 웨이퍼 로더, 웨이퍼 핸들러, 공정 헤드 및 스피너 어셈블리로 구성됩니다. 웨이퍼 로더는 한 번에 최대 25 개의 웨이퍼를 수용 할 수있는 진공 구동 장치입니다. 핸들러 구성 요소에는 멀티 카메라 머신 (multi-camera machine) 이 장착되어 있어 처리 준비가 된 웨이퍼를 감지하고 정확하게 배치할 수 있습니다. 공정 헤드에는 물리적/화학적 처리를위한 여러 도구가 장착되어 있습니다. 각 도구는 독립적으로 프로그래밍 가능하여 재료의 정확한 에칭 및 증착을 가능하게합니다. 스피너 어셈블리는 또한 조절 가능하며, 최대 22,000rpm의 웨이퍼를 빠르고 정확하게 회전 할 수 있습니다. 전체 공구는 모바일 플랫폼 (mobile platform) 에 장착되어 운영 라인 (production line) 이나 위치 (location) 간에 쉽게 이동할 수 있습니다. 선택적으로, 에셋에는 효율성과 출력을 추적하기 위해 in-sysytem 성능 모니터가 장착될 수 있습니다. ENTEGRIS Ultra-6102 는 최첨단 Wafer 처리 모델로, 다양한 Wafer 크기에서 정확하고 정확한 처리 주기를 제공할 수 있습니다. 과학실이나 산업생산라인에 이상적이다. 정확성과 효율성이 가장 중요하다. & # 160; 장비는 쉽게 움직일 수 있으며, 매우 다재다능하며, 전례없는 수준의 유연성을 제공합니다.