판매용 중고 EMS 850 #9204225
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엠에스 850 (EMS 850) 은 다양한 웨이퍼에 균일 한 코팅을 제공하기 위해 설계된 모듈 식 전기 도금 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 크기, 이송 속도, 응용률, 증착률을 높은 수준으로 제어합니다. 빠른 증착주기와 높은 수준의 반복 성과 정확성을 제공합니다. 850의 디자인은 대화식 플랫폼을 기반으로합니다. 수동 제어 (manual control) 와 자동 제어 (automated control) 를 모두 지원하는 컨트롤이 포함된 간단한 사용자 인터페이스가 있습니다. 이를 통해 도금 프로세스를 쉽게 설정하고 모니터링할 수 있습니다. 또한 광범위한 애플리케이션에 대한 원격 제어 및 모니터링 기능을 제공합니다 (영문). EMS 850은 광범위한 웨이퍼 크기를 허용하도록 제작되었습니다. 원형과 직사각형 모양의 웨이퍼를 모두 지원하며, 부품의 직경은 최대 6 "입니다. 또한 2 층 도금을 사용하여 전체 웨이퍼에서 균일 한 성능을 제공합니다. 850에는 2 개의 개별 도금 탱크가 있으며 각 탱크에는 최대 25 갤런의 도금 용액이 포함되어 있습니다. 이 솔루션은 균일 한 코팅 품질을 보장하기 위해 장치 전체에 지속적으로 순환됩니다. 도금 "스테이션 '은 또한 각" 웨이퍼' 가 한 도금 "스테이션 '에서 다음 도금" 스테이션' 으로 통과 될 때 교차 오염 을 방지 하도록 설계 되었다. 안전 측면에서 EMS 850은 완전히 동봉되도록 설계되었으며 UL 목록에 있습니다. 안전 인터 록 (Safety Interlock), 자동 경보 시스템 (Automatic Alert System) 및 안전한 작업 환경을 만들기 위한 전용 안전 벽이 특징입니다. 850에는 도금 과정에 대한 자세한 모니터링을 제공하는 다용도, 직관적 인 제어 머신이 있습니다. 제어 도구를 사용하면 도금 매개변수의 미세 조정 및 교정을 수행할 수 있습니다. 프로세스를 실시간으로 분석할 수 있으며, 최적화를 위한 피드백을 제공합니다. 전반적으로, EMS 850은 신뢰할 수 있고 정밀한 전기 도금 자산으로, 다양한 웨이퍼에 균일하고 고품질 코팅을 제공 할 수 있습니다. 사용이 간편하며, 운영 중 최대한의 안전성을 보장하도록 설계되었습니다. 장비가 제공하는 높은 수준의 제어 및 반복성 (repeatability) 은 모든 유형의 웨이퍼 (wafer) 처리에 이상적인 선택입니다.
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