판매용 중고 ELMA X-tra Line 800 #293605217

ELMA X-tra Line 800은 초고 진공 및 고온 사전/사후 청소에 적합한 '기타 웨이퍼 처리' 장비입니다. 이 플랫폼은 150mm ~ 300mm 직경의 웨이퍼를 처리하도록 설계된 자동 단일 웨이퍼 처리 플랫폼입니다. 이 시스템에는 강력한 Brushless 전원 공급 장치 (Brushless Power Supply) 가 장착되어 있어 고압 분사 및 브러쉬 처리 기능과 같은 클리닝 매개변수를 제어합니다. 또한 고압 플라즈마 기능과 기판 저장 기능도 갖추고 있습니다. 장치는 etch, deposition 또는 cleaning 프로세스를 사용하여 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 2 개의 300mm 너비의 공정 챔버에는 고압 스프레이, 브러시 처리 및 기타 능력이 있습니다. 이 기계에는 사전/사후 (pre-cleaning) 프로세스 중에 신속하게 응답할 수 있는 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 이 도구에는 이동 검사를 수행 할 수있는 고속 스캐닝 헤드 (scanning head) 가 포함되어 있습니다. 또한 사전/사후 청소 과정에서 샘플을 검사하는 광학 현미경이 있습니다. 에셋은 정확한 웨이퍼 배치 및 위치를 위해 인체 공학적으로 설계된 마이크로 포지션 모델을 갖추고 있습니다. X-tra Line 800은 단일 주기에서 여러 처리 단계를 수행할 수 있습니다. 프로세스 및 웨이퍼 제어 향상을 위해 AWIS (Advanced Wafer Inspection Equipment) 및 ASMC (Automated Stage Motion Control) 가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 가열, 바늘, 솔레노이드, 필터 (예: 변경 및 교체 용이) 와 같은 구성 요소를 포함하는 유지 보수가 용이하도록 설계되었습니다. 또한 모듈식 설계 (modular design) 를 통해 매우 효율적이며, 다양한 프로세스에 용량 및 유연성을 제공합니다. 이 기계에는 유연한 프로세스 모니터링 툴이 장착되어 있어 실시간 데이터와 추세 분석 (Trend Analysis) 기능을 제공합니다. 전반적으로 ELMA X-tra Line 800은 자동 단일 웨이퍼 처리 플랫폼으로, 고속 스캔 및 프로세스 기능, 고급 웨이퍼 검사 및 자동 스테이지 모션 제어를 제공합니다. 매우 높은 진공 및 고온 사전/포스트 청소에 적합하며 강력한 브러시리스 (brushless) 전원 공급 장치, 고압 스프레이 및 브러시 처리 능력을 갖추고 있습니다. 이 자산은 열기, 바늘, 솔레노이드, 필터 (예: 변경 및 교체 용이) 와 같은 구성 요소로 쉽게 유지 관리할 수 있도록 설계되었습니다.