판매용 중고 ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT #9060500

ID: 9060500
빈티지: 2002
Wafer cleaner (10) Stations Software Manuals: installation, operation, maintenance 280V, 3 phase, 100A, 82kVA Pneumatic power supply: 6-7 bar, 1.5Nm3/H 2002 vintage.
ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT는 알루미늄, 갈륨 비소, 산화물 및 실리콘으로 만든 섬세한 웨이퍼를 코팅하기 위해 특별히 설계된 웨이퍼 처리 장비로, 통합 회로, MEM, 옵토 일렉트릭 및 응용프로그램을 목적으로 다양한 계층으로 구성됩니다. 이 기계는 특허받은 각도 베어링 (angular bearing) 기술을 사용하여 회전하여 기판과 웨이퍼의 표면에 불균일성과 공극을 제거합니다. 이를 통해 균일성, 프로세스 향상 및 비용 효율성을 통해 코팅 두께를 극대화할 수 있습니다. ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT (옵션) 와 같은 추가 헤드 및 맞춤형 적응을 갖춘 디스펜스 코팅 헤드를 사용하면 등각 코팅, 플럭스 코팅, 박막 증착, 나노 코팅 등 다양한 작업을 수행 할 수 있습니다. 높은 정확도와 제어. 또한, 이 시스템은 짧은 코팅 길이 (coating length), 높은 가속 및 감속 (high acceleration and deceleration), 와퍼의 품질을 유지하는 냉각 기술 덕분에 비용 절감 효과를 제공합니다. ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT에는 파퍼의 변형과 결함을 감지하기 위해 인라인 도량형 및 3D 이미징 시스템이 모두 장착되어 있습니다. 이 과정에서 결함이 없어지면, 이 장치는 높은 수율과 제품의 균일성을 보장할 수 있습니다. 또한 처리 속도 (throughput rate), 주기 시간 (cycle time), 결함 비율 (defect rate) 과 같은 프로세스 메트릭의 실시간 데이터 및 모니터링을 지원하여 정밀도를 높이고 온라인 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 운영자는 프로세스 중 경보 (alarm) 및 트리거 (trigger) 를 제공하고 추적 가능성 (traceability) 및 기록 프로세스 기록 (recording process history) 을 규제 준수할 수도 있습니다. 더욱이, 이 기계는 고급 연결 플랫폼 (advanced connectivity platform) 과 최대 8 기판과 같은 고유한 기능을 한 번에 이 도구와 호환됩니다. 이 모든 기능은 핵심 어플리케이션의 효율성과 품질을 향상시키기 위해 설계되었습니다. 전반적으로 ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT는 업계 최고의 표준을 충족하는 정확하고 고품질 웨이퍼 코팅 기능을 제공하는 고급 웨이퍼 처리 자산입니다. 사용자 친화적이며 경제적이며, 가장 정확하고 까다로운 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
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