판매용 중고 ECD SuperMOLE Gold #9246156

ECD SuperMOLE 골드 (ECD SuperMOLE Gold) 는 고급 화학 물질과 고출력 마이크로파 에너지를 사용하여 웨이퍼 기판 표면에 뛰어난 열 프로파일을 제공하는 고급 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 높은 종횡비 구조에서 MEMS 구조에 이르기까지 모든 유형의 웨이퍼 구조에 적합합니다. 장치 자체는 로드 록, 중앙 처리 장치, 3 축 모션 머신 및 진공 챔버 (vacuum chamber) 를 포함한 여러 부분으로 구성됩니다. 로드록 (loadlock) 은 한 번에 최대 24 개의 웨이퍼를 적재 할 수 있으며, 각 웨이퍼는 처리가 시작되기 전에 특정 온도로 가열 될 수 있습니다. 3 축 동작 도구는 웨이퍼 병합, 연마 및 표면 도량형과 같은 응용 분야에서 다양한 3 차원 이동을 제공합니다. 진공실에는 온도, 압력, 빛에 민감한 여러 센서가 장착되어 있습니다. 웨이퍼 기판에 탁월한 열 프로파일을 제공하도록 설계된 고급 화학 물질 (Advanced Chemistries) 을 사용하여 SuperMOLE Gold의 고출력 마이크로파 에너지 (High-Power Microwave Energy) 는 다른 기술보다 향상된 난방 프로파일을 제공하여 기존 웨이퍼 처리 시스템에 비해 최대 75% 의 처리 시간을 허용합니다. 또한 일부 시간에 최대 1000 ° C의 온도를 달성 할 수 있습니다. ECD SuperMOLE Gold (ECD SuperMOLE Gold) 의 기술은 처리 직후 웨이퍼를 빠르게 냉각 할 수 있습니다. 이러한 전체 프로세스 시간 단축 (Total Process Time) 를 통해 처리량을 크게 향상시키고 기존 웨이퍼 처리 시스템과 관련된 대기 시간을 없앨 수 있습니다. SuperMOLE Gold에는 프로그래밍 가능한 반복 가능한 스크립트와 실시간 데이터 모니터링도 있습니다. 이 고급 웨이퍼 처리 자산에는 자동 보정 (auto-calibration) 및 안전 (safety) 업그레이드가 포함되어 있어 수동 데이터 입력 및 프로그래밍이 필요없거나 감소합니다. 전반적으로 ECD SuperMOLE Gold는 다용도, 신뢰성, 비용 효율적인 웨이퍼 처리 모델로, 웨이퍼 프로세싱의 여러 측면을 개선하도록 설계되었습니다. 높은 온도, 빠른 냉각 시간 (cooling time) 을 달성하면 기존 시스템에 비해 프로세스 시간이 줄어듭니다. 고급 화학 물질 및 자동 설정의 추가는 또한 슈퍼 몰 골드 (SuperMOLE Gold) 를 웨이퍼 처리 응용 프로그램을위한 매우 바람직한 플랫폼으로 만드는 주요 기능입니다.