판매용 중고 ECD Mega Mole 20 #9011600

ECD 메가 몰 20 (ECD Mega Mole 20) 은 최대 200mm의 다양한 웨이퍼 크기를 처리하도록 설계된 전문 웨이퍼 처리 장비입니다. 대용량 웨이퍼 (wafer) 생산에 사용되지만 저용량 (low-volume) 또는 프로토타입 (prototyping) 애플리케이션에도 사용할 수 있는 자동 시스템입니다. 이 장치는 Wafer Handler, Layout Toolbox, Image Processor 및 Controller의 네 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 웨이퍼를 처리 기계 안팎으로 이동시킵니다. 최적의 품질의 결과를 보장하기 위해 정확하고 효율적이도록 설계되었습니다. 핸들러는 스테퍼 모터를 사용하여 빠르고 정확한 위치를 제공하고 한 번에 최대 50 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 갈륨 비소, 실리콘, III-V 및 화합물 반도체와 같은 다양한 웨이퍼 유형과 호환됩니다. 레이아웃 도구상자는 레이아웃 패턴을 생성하는 역할을 합니다. photoresist 코팅, 사진 이미지 개발, 리프트 오프, 에칭 및 스트리핑을 포함하여 최대 5 개의 프로세스를 동시에 수행 할 수 있습니다. 이 다중 레이어 에칭 기법은 미세 선 너비 (fine line width) 와 피치 (pitches) 와 같은 정확한 패턴을 높은 충실도로 만드는 데 사용될 수 있습니다. 이미지 프로세서 (Image Processor) 는 이미지 분석 알고리즘을 적용하여 레이아웃 도구 상자 (Layout Toolbox) 에서 생성한 패턴의 크기와 품질을 확인하는 비전 도구입니다. 정교한 알고리즘은 크기, 모양, 위치를 기준으로 웨이퍼 (wafer) 의 결함을 식별하고 분류하도록 설계되었습니다. 또한 프로세스 매개변수를 실시간으로 추적할 수 있으므로 프로덕션 중에 품질 매개변수가 유지됩니다. 컨트롤러는 자산의 두뇌입니다. 즉, 직관적이고 사용하기 쉬운 인터페이스를 제공하여 처리 모델을 프로그래밍, 관리하고, 매개변수를 조정하여 결과를 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 레시피 레시피를 저장하여 후속 런을 단순화 할 수 있으며, 멀티 레이어 개발 (multi-layer development) 과 같은 복잡한 작업을 쉽게 정의 할 수 있습니다. 요약하면, 메가 몰 20 (Mega Mole 20) 은 대용량 생산을 위해 자동화된 작동과 저용량 또는 프로토 타이핑 어플리케이션의 유연성을 제공하는 다용도 웨이퍼 처리 장비입니다. 정확한 이동과 이미지 분석 알고리즘을 통해 고품질 (High-Quality) 및 복잡한 패턴을 제작할 수 있으며, 사용하기 쉬운 프로그래밍 툴을 통해 신뢰할 수 있는 웨이퍼 (Wafer) 처리 시스템을 원하는 기업에게 이상적인 선택이 됩니다.