판매용 중고 DS LAW-820 #293752260

DS LAW-820
ID: 293752260
빈티지: 1996
High temperature annealing system Tungsten halogen lamp 1996 vintage.
DS LAW-820 (DS LAW-820) 은 정확하고 효율적인 웨이퍼 처리를 위해 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 기타 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 최첨단 기술 (최첨단 기술) 과 기능을 갖추고 있어 정확성과 반복성이 높은 광범위한 처리 (processing) 단계를 수행할 수 있습니다. 웨이퍼 클리닝 (wafer cleaning) 및 서피스 준비 (surface preparation) 에서 증착 및 식각 프로세스에 이르기까지 LAW-820은 다양한 재료와 기판을 쉽게 처리 할 수있는 다용도 도구입니다. DS LAW-820 장치의 주요 특징 중 하나는 고급 자동화 기능으로, 반도체 제조 라인에 원활하게 통합할 수 있습니다. 이 자동화는 생산성을 높일 뿐만 아니라, 처리 결과의 일관성을 보장하여 항복 및 전반적인 성능을 향상시킵니다. 이 기계 에는 "와퍼 '하중 과 하역 을 가능 케 하는" 로봇' 처리 장치 와 처리 실 간 의 수송 이 제어 되고 효율적 인 방법 으로 갖추어져 있다. 처리 능력 측면에서, LAW-820 은 다양한 wafer 처리 단계를 수행하기 위한 포괄적인 모듈 제품군을 제공합니다. 예를 들어, 이 도구에는 습식 클리닝, 드라이 클리닝, 서피스 컨디셔닝 (surface conditioning) 을 위한 모듈이 포함되어 있으며, 이후 처리 단계 전에 웨이퍼를 철저히 준비할 수 있습니다. 또한, 에셋은 다양한 재료의 박막 (thin film) 을 웨이퍼 표면에 배치하기위한 증착 모듈을 특징으로하며, 재료 레이어를 선택적으로 제거하여 정확한 패턴과 구조를 만들 수있는 에칭 모듈을 특징으로합니다. DS LAW-820 모델에는 고급 프로세스 제어 (Process Control) 기능이 장착되어 있어 사용자가 처리 매개변수를 실시간으로 모니터링하고 조정하여 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장비에는 온도, 압력, 화학 농도 등의 프로세스 조건에 대한 피드백을 제공하는 센서 (sensor) 및 검출기 (detector) 가 포함되어 있어 처리 환경을 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한, 시스템의 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 는 프로세스 데이터와 제어를 쉽게 액세스할 수 있게 해 주며, 효율적인 운영 및 문제 해결을 지원합니다. LAW-820 장치의 또 다른 주요 측면은 다양한 유형의 웨이퍼 및 기판을 처리하는 다재다능성입니다. 이 기계는 200mm, 300mm 등의 표준 반도체 웨이퍼 크기와 특수 응용 프로그램의 비표준 크기 (비표준 크기) 를 포함하여 다양한 크기의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 게다가, 이 도구 는 "실리콘 ', 화합물" 반도체' 및 특수 재료 와 같은 여러 종류 의 재료 의 가공 을 지원 하여, 반도체 산업 의 광범위 한 응용 에 적합 하다. 전반적으로, DS LAW-820 자산은 다른 웨이퍼 프로세싱을 위한 안정적이고 효율적인 솔루션으로, 최신 반도체 제조 (semiconductor manufacturing) 의 까다로운 요구 사항을 충족하는 고급 기능과 기능을 제공합니다. 고급 자동화, 다용도 처리 모듈, 강력한 프로세스 제어 기능을 갖춘 LAW-820 모델은 Wafer Processing (웨이퍼 처리) 애플리케이션에서 고품질의 결과를 얻을 수 있는 유용한 툴입니다.
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