판매용 중고 DMS / MICROSENSE 1660 #9098209
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ID: 9098209
Magneto-resistance signal processor
7035B Electromagnet power supply
Torque / Vibrating sample magnetometer
Signal processor
883A Temperature controller
32KP Gauss meter
880 CTS
88-WCS (Water Cooling System)
PC.
DMS/MICROSENSE 1660은 초고속, 고정밀 마이크로 프로세싱을 수행하도록 설계된 고급 웨이퍼 처리 기술입니다. 이 장비는 통합 반도체 및 광학 기술 (Optics Technology) 을 사용하여 대용량 생산에서 두께가 90 - 250 äm 인 웨이퍼 조각을 처리 할 수 있습니다. 이 시스템에는 웨이퍼 처리를 시각화하고 모니터링하는 데 도움이 되는 2D 비디오 기능이 있는 LCD (Integrated 액정 디스플레이) 가 있습니다. DMS 1660은 정확한 움직임을 위해 3 축 동력 단계를 사용하여 X, Y 및 Z의 3 축을 정확하게 제어합니다. 이 장치는 또한 처리 중 스테이지가 안정화되도록 닫힌 루프 피드백 제어기를 갖추고 있습니다. "웨이퍼 '는 밀폐 된 진공" 척' 에 의하여 정확 하게 고정 되어 처리 중 에 먼지 입자 가 "도구 '에 들어가지 않도록 한다. 통합 광학 기술은 MICROSENSE 1660 자산의 핵심 구성 요소입니다. 고급 수준의 디테일에서 빠르고 정확한 웨이퍼 처리가 가능합니다. 웨이퍼 슬라이스는 광원으로 조명되며 고해상도 CCD 카메라로 광학적으로 검사됩니다. 그런 다음 "카메라 '는" 웨이퍼' 에 대한 상세 한 정보 를 "모델 '에 전달 하여 원하는 대로 정확 하게" 데이터' 를 처리 한다. 1660 년에는 절단, 연마, 에칭 및 랩핑과 같은 다양한 웨이퍼 처리 기능이 있습니다. 이 장비는 석영, 융합 실리카, 유리, 도자기 및 금속을 포함한 다양한 웨이퍼 재료를 수용 할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 최대 ± 3 äm의 정확도로 고정밀 결과를 낼 수 있습니다. 또한 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphic User Interface) 및 분석 소프트웨어 (Analysis Software) 와 같은 사용자에게 친숙한 기능을 제공하여 처음부터 끝까지 직관적인 워크플로를 제공합니다. 또한 고급 작업의 성능 매개변수 (performance parameters) 와 시스템 상태를 모니터링하는 활성 피드백 시스템 (Active feedback machine) 을 쉽게 액세스할 수 있습니다. DMS/MICROSENSE 1660이 제공하는 고급 웨이퍼 프로세싱은 현대 제조 산업에 귀중한 기술입니다. 매우 정밀하고 빠른 처리 속도 (processing speed) 를 통해 다양한 재료에서, 매우 정확하고 정확하게 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 설계, 소프트웨어 (software) 를 통해 모든 사용자가 시스템을 작동하기에 매우 쉽고 효율적입니다.
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