판매용 중고 CSTI / CHEMICAL SAFETY TECHNOLOGY INC CST-50/1-CAN #9236171

ID: 9236171
Batch neutralization system.
CSTI CST-50/1-CAN은 화학 치료에서 수동화 (passivation), 광학 검사에서 박막 증착에 이르기까지 광범위한 작업을 수행하도록 설계된 고급 웨이퍼 처리 장비입니다. 실리콘, 갈륨 비소 (gallium arsenide), 인화 인듐 (indium phosphide) 과 같은 다양한 기질을 처리하는 고급 기능이 있습니다. 이 시스템에는 epitaxy, PVCD (Photochemical Vapor Deposition) 및 CVD (Chemical Vapor Deposition) 와 같은 화학 공정에 대한 전체 호환 기판 라인이 장착되어 있습니다. CST-50/1-CAN 장치는 4 개의 독립적 인 프로세스 라인을 지원할 수있는 진정한 다중 프로세스 시스템입니다. 병렬 (parallel) 모드에서 작동하여 여러 작업을 동시에 수행할 수 있습니다. 또한 개별 프로세싱 요구 사항 (예: 여러 웨이퍼 크기 간에 처리를 신속하게 전환하는 기능) 에 맞게 구성할 수 있습니다. 이 도구는 자동화된 컴퓨터 제어 자산 (Computerized Control Asset) 에 의해 제어되며, 일관된 성능을 보장하고 기존의 수동 프로세싱과 관련된 건조 시간을 없애 줍니다. CST-50/1-CAN 모델에는 여러 가지 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이 장비에는 센서, 인터 록 (interlock) 및 차폐 진공선과 같은 다양한 자동 및 기계 안전 장치가 포함됩니다. 또한 우회 밸브 (bypass valve) 가 특징이며, 과압 또는 과잉 냉각 시 프로세스를 신속하게 차단할 수 있습니다. 이 시스템은 작업자의 작업을 지원하기 위해 다양한 사용자 친화적 (user friendly) 기능을 갖추고 있습니다. 이 제품은 고해상도의 컬러 LCD 모니터를 통해 사용자가 매개변수와 이미지를 실시간으로 검토할 수 있도록 합니다. 이 장치는 프로세스가 완료되면 프로그램 가능한 경보를 표시 할 수도 있습니다. 또한 '전체 설명서' 와 '문서' 를 통해 다양한 구성을 손쉽게 확장/축소할 수 있습니다. 전반적으로 CHEMICAL SAFETY TECHNOLOGY INC CST-50/1-CAN은 모든 유형의 기판 처리 요구에 적합한 고급, 다용도 및 안전한 웨이퍼 처리 기계입니다. 안정적이고, 효율적이며, 효과적인 결과를 제공하는 데 필요한 모든 기능이 제공됩니다.
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