판매용 중고 CRYSTAL Clean 960S #9301056

CRYSTAL Clean 960S는 ISO-1, ISO-4 및 UFG/UHE 클리닝을 포함한 광범위한 화학 물질 및 공정으로 작동하도록 설계된 독립형, 기타 웨이퍼 처리 장비입니다. 열 화학 공정을 통합 한이 시스템은 효율적이고 효과적인 청소를 가능하게합니다. 단일 웨이퍼 장치는 최대 150 ° C의 작동 온도와 1 ~ 60 초의 조정 가능한 시간 기간을 제공하며, 온도, 시간, 램프 시간과 같은 매개 변수를 자동으로 제어합니다. 기계에는 하중 (load) 스테이션에서 클린 챔버 (clean chamber) 로, 그리고 챔버 (chamber) 에서 드라이 스테이션 (dry station) 으로 웨이퍼를 이동시키는 효율적인 재료 처리 도구가 장착되어 중간계열 웨이퍼 언로드를 허용합니다. 스테인리스 스틸 챔버 (Stainless Steel Chamber) 는 100 밀리미터 및 200mm 웨이퍼 직경을 모두 위해 설계된 것처럼 한 번에 최대 25 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 또한, 챔버 (Chamber) 는 진동이없는 동작 (Vibration-Free Operation) 과 제트 (Jet) 를 도입하여 웨이퍼의 모든 표면을 동시에 커버하는 수많은 가스 스트림을 만들어 내면서 더 높은 온도 작동과 더 나은 청소 성능을 가능하게하는 독특한 디자인을 갖추고 있습니다. Clean 960S는 사용자의 안전과 프로세스 보안을 보장하는 다양한 기능을 제공합니다. 각 프로그램은 최대 99 개의 프로세스 사이클을 기록할 수 있으며, 에셋의 메모리에 최대 4 개의 레시피를 저장할 수 있습니다. 이 모델은 저장된 레시피의 의도하지 않은 변화를 방지하기위한 잠금 메커니즘을 특징으로하며, 각 워크플로는 전기적 (electromechanically) 으로 보호됩니다. 또한, 장비의 자동 안전 밸브, 관성 안전 잠금 장치, 필터 매트, 흐름 센서는 사용자 안전에 대한 추가 보증을 제공합니다. 사용자 관점에서 CRYSTAL Clean 960S에는 인체 공학적 터치 스크린 패널과 직관적 인 그래픽 사용자 인터페이스가 있습니다. 시스템을 쉽게 교체할 수 있는 카트리지와 노즐은 빠르고 간편한 청소 (cleaning) 유지 관리가 가능합니다. 마지막으로, 이 장치는 전체 CE 인증을 획득합니다. 즉, 품질, 안정성 및 안전 표준은 최소 요구 사항 이상으로 충족됩니다.