판매용 중고 CREST Ultrasonic #9042962
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크레스트 울트라 소닉 (CREST Ultrasonic) 은 고주파의 음파를 사용하여 반도체 웨이퍼 표면에서 물질을 물리적으로 제거하는 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 "활성 에너지" 라는 개념을 기반으로합니다. 이것 은 "웨이퍼 '의 표면 에서 물질적 물질 을 제거 하게 하는 기계적 힘 을 적용 시키는 것 이다. 이 장치 는 고주파 음파 를 계속 사용 함 으로써, "에너지 '를 제어 하는 방법 으로 제거 할 수 있다. 이 기계는 또한 웨이퍼 처리 (wafer processing) 에 사용되는 재료에 대해 높은 허용 재료 제거 속도를 제공합니다. 초음파 도구는 재료 제거 공정에서 정밀도를 제공합니다. 이것 은 음파 의 정확 한 "펄스 '길이 를 전달 하는 능력 덕분 에 가능 하다. 이렇게 하면 프로세스가 안정적이고 정확한지 확인할 수 있습니다. 에셋은 또한 정확한 깊이 (depth of material removal) 를 달성 할 수있는 방법을 제공하여 다른 수준의 표면 마무리를 만들 수 있습니다. 이 모델의 비접촉 (non-contact) 특성은 웨이퍼에서 재료를 과열하지 않고 제거하거나, 공정 중에 웨이퍼를 손상시키는 안전하고 효율적인 방법입니다. CREST Ultrasonic의 음파는 사용자 선택 가능 주파수 및 진폭을 사용하여 생성됩니다. 이것은 재료 제거 공정의 균일성을 제공하는 데 도움이됩니다. 이 공정 은 그 공정 에 사용 되는 여러 가지 재료 를 "웨이퍼 '에 대해 빠르고, 반복 할 수 있고, 정확 한 재료 제거 공정 을 제공 한다. 초음파 장비 는 "와퍼 '가" 척' 위 에 거꾸로 놓여 청소 목욕탕 에 잠기면 작동 한다. 무거운 듀티 트랜스듀서는 20 ~ 80 KHz의 주파수에서 음파를 생성하고 최대 30.000hm까지 진폭을 발생시키는 데 사용됩니다. "트랜스듀서 '에 의해 생성 된 음파 는" 렌즈' 역할 을 하는 청소 액체 를 통과 하여 "에너지 '를" 웨이퍼' 표면 에 집중 시킨다. 이 "에너지 '는" 웨이퍼' 표면 에 있는 물질 의 국소적 전위 를 일으키며, 그 물질 에 기계적 으로 유도 된 전위 를 만든다. 그러면 서피스의 재료가 제거되고 웨이퍼 (wafer) 가 원래 상태로 돌아갑니다. CREST Ultrasonic의 재료 제거 프로세스는 정교한 소프트웨어 알고리즘을 통해 추가로 제어됩니다. 이렇게 하면 프로세스가 제어되고, 균일하며, 정확한지 확인할 수 있습니다. 이 시스템은 변화하는 재료 (material) 와 환경 (environment) 조건에 적응할 수 있으므로 웨이퍼 (wafer) 에 대한 자동화된 재료 제거 프로세스를 제공합니다. 초음파 장치 (Ultrasonic Unit) 는 반도체 산업의 표면 마무리 공정에 대한 재료 제거에서 항공 우주, 생의학 및 자동차 산업의 연마 응용 프로그램 (Polishing Application) 에 대한 코팅 제거에 이르기까지 여러 산업에서 사용하기에 적합합니다. 이 "머신 '은 매우 다양 한 용도 가 있는 정밀 한 재료 제거 를 제공 해 주며, 여러 가지 재료 에 대한 정밀 하고 정밀 한" 피니시' 처리 를 제공 한다.
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