판매용 중고 CREST PCS-2224 #9076979

ID: 9076979
Aqueous cleaning and drying system (8) Stations Uses de-ionized water for cleaning Custom designed cleaning console and a hot air drying console Automated transfer system: moves basket and parts through cleaning system.
CREST PCS-2224는 정교한 기타 웨이퍼 처리 장비이며, 웨이퍼 처리를 위한 전원 스테이지 및 RF 생성기가 포함되어 있습니다. 이 제품은 높은 수준의 정확성, 반복성, 신뢰성을 달성하는 한편, 정확한 웨이퍼 (wafer) 처리 및 처리를 위한 비용 효율적인 솔루션도 제공합니다. PCS-2224는 두 가지 주요 구성 요소 인 Ion Beam Scanner와 Ion Implantation Chamber로 구성됩니다. 이온 빔 스캐너 (Ion Beam Scanner) 에는 웨이퍼 (Wafer) 스테이지 및 관련 컴포넌트의 드라이브 시스템과 함께 웨이퍼 (Wafer) 포지셔닝을 위한 다양한 고해상도 스캐닝 단계가 있습니다. 이온 임플란테이션 챔버 (ion implantation chamber) 는 웨이퍼 표면에 이온 빔을 적용하여 회로 및 기타 부품과의 장치 통합에 필요한 전기 특성을 만들기 위해 설계된 고정밀 장치입니다. CREST PCS-2224는 직경 300mm, 무게 500Kg 정도의 무거운 웨이퍼를 처리 할 수있는 3 축 조작기를 통해 업계 최고의 처리 기능을 제공합니다. 또한 4 개의 프로그래밍 가능한 스캔 세그먼트를 지원하여 step-and-repeat, overlay 및 step-and-scan과 같은 이식 프로세스를 정확하게 구현합니다. 또한, 이 장치에는 작동 수명이 최대 1000 시간인 대용량 이온 소스와 100 시간 (A) 의 출력 전류가 장착되어 있습니다. 이 장치는 또한 다양한 프로그래밍 가능한 파라미터 (programmable parameter) 에 의존하는 이식 (implantation) 유형에 따라 동작 이온 빔 전류 및 전압 조정이 가능합니다. 장치 관리 강화 (Enhanced Unit Management) 를 위해 디바이스는 고급 제어 시스템 (Advanced Control Machine) 을 지원하여 사용자가 디바이스를 작동하고 원격으로 성능을 모니터링할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 고객의 기존 프로세스 제어 시스템 (process control system) 및 통신 프로토콜에 통합하기 위해 아날로그 (analog) 및 이더넷 (Ethernet) 과 같은 다양한 인터페이스를 제공합니다. PCS-2224 (PCS-2224) 는 또한 반복성과 정확성으로 높은 수준의 처리 후 안정성을 제공하여 최적의 웨이퍼 특성을 일관되고 안정적으로 생성 할 수 있습니다. 이것은 모든 주요 반도체, 마이크로 일렉트로닉 프로세스와 호환되며, 모든 안전 규범 및 규정을 준수하도록 설계되었습니다. 이 장치는 또한 환경 표준 (Environmental Environment Standard) 및 지침 (Directives) 및 건강 및 안전 규정 (Health and Safety Regulations) 을 준수하여 사용자가 제품의 품질 요구 사항을 충족하도록 보장합니다. 다양한 기능과 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 CREST PCS-2224 는 모든 Wafer 처리 요구 사항을 완벽하게 충족할 수 있습니다.
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