판매용 중고 CREST Optimum #9131750

CREST Optimum (CREST Optimum) 은 실라이즈 제작 및 기타 반도체 어플리케이션에 최적의 성능을 제공하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 처리 장비입니다. 로보틱 워크스테이션 (Robotic Workstation), 로드록 시스템 (Loadlock System), 고급 프로세스 모듈 (Advanced Process Module) 등 다양한 하드웨어 및 소프트웨어 시스템으로 구성되어 있습니다. 이 장치는 모든 WF (Wafer Fabrication) 프로세스에 대해 높은 처리량, 최대 유연성, 정확한 제어 기능을 제공하여 고객이 최고의 품질과 안정성을 자랑하는 제품을 생산할 수 있도록 합니다. 시스템의 로봇 워크스테이션은 Optimum 도구의 핵심을 형성합니다. 고급 자동화 (Advanced Automation) 기능이 장착되어 있어 수작업 없이 고속 로딩 및 웨이퍼 언로드가 가능합니다. 이 워크스테이션은 클리닝, 도량형, etch 프로세스 등 다양한 애플리케이션에 대해 최대 12 개의 프로세스 모듈을 지원하도록 설계되었습니다. 또한, 통합 안전 연동 시스템은 자산의 운영자가 위험한 상황으로부터 보호합니다. 이 모델에는 주 챔버 (Main Chamber) 와 분리된 환경에 대한 액세스를 제공하는 로드 락 (loadlock) 장비도 장착되어 있습니다. 이렇게 하면, 로봇 워크스테이션의 챔버에 샘플을 정확하고 효율적으로 로드할 수 있습니다. 적재 장치 시스템에는 통합 진공 장치 (integrated vacuum unit) 와 챔버 내 대기를 제어하기위한 비활성 가스 전달 기계 (inert-gas delivery machine) 가 포함됩니다. CREST Optimum 도구는 여러 고급 프로세스 모듈을 통합합니다. 비정질 실리콘 모듈은 높은 처리량으로 박막을 정확하게 결정 할 수있는 반면, 화학 기계 연마 (CMP) 모듈은 제조 응용을위한 초 매끄러운 표면을 제공합니다. 또한, epitaxy 모듈은 복합 반도체 장치의 빠른 트랙 제작을 제공하며, RTA (Rapid Thermal Annealing) 모듈은 고속 처리량을 지원하는 고급 난방 및 냉각 기능을 제공합니다. 최적 자산 (Optimum asset) 에는 하드웨어 기능 외에도, 모델 프로세스 모듈에 대한 고급 모니터링 및 제어를 용이하게 하는 포괄적인 소프트웨어 제품군이 제공됩니다. 내장형 레시피 매니저 (Recipe Manager) 를 사용하면 제조 프로세스에 대한 맞춤형 레시피를 만들고 저장할 수 있으며, 시스템 성능을 실시간으로 포괄적으로 파악할 수 있는 프로세스 데이터 획득/로깅 (Process Data Acquisition and Logging) 장비가 제공됩니다. CREST 최적 장치 (CREST Optimum unit) 는 뛰어난 성능, 최대 유연성, 탁월한 정밀도를 제공하는 다양한 웨이퍼 처리 어플리케이션을 위한 최적의 솔루션을 제공합니다. 다양한 기능을 갖춘 하드웨어/소프트웨어 시스템 제품군은 복잡한 반도체 (semiconductor) 디바이스를 만드는 프로세스를 변화시켜, 고객이 비용 효율적인 (cost-effective) 방식으로 전례없는 결과를 얻을 수 있게 해 줍니다.