판매용 중고 CREST DSA-150-6L2-5.7L #9125189

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ID: 9125189
빈티지: 2009
UV irradiation, 2009 vintage.
CREST DSA-150-6L2-5.7L은 생산성을 극대화하기 위해 설계된 완전 자동 웨이퍼 처리 장비입니다. 통합 광 및 기계 처리 기능을 갖추고 있습니다. 사각형, 사각형, 원형, 직사각형/표준 등 다양한 기판 크기와 구성을 처리하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 고속 제어 (fast-control) 플랫폼에서 최대 6 개의 웨이퍼를 동시에 처리하여 처리량을 향상시킬 수 있습니다. CREST DSA-150-6L2-5.7L을 사용하여 웨이퍼 슬러리 (wafer slurry) 가 캐리어 트랙에 로드되어 장치를 통해 웨이퍼를 전송합니다. 그런 다음, 기계는 사전 처리 및 처리를 위해 여러 가지 기능을 제공합니다. 고급 광학 (advanced optics) 을 사용하여 기판 재료를 최대 피쳐 정의와 정확한 레이어 두께로 정확하게 처리합니다. 이는 광학 도구 보정 (optical tool calibration) 과 2 단계 기판 등록 (two-step subtrate registration) 을 포함한 고급 광학과 자동 프로세스의 조합을 사용하여 수행됩니다. 이 자산은 또한 기질 표면 조건을 최적화하고 폐기물을 최소화하기 위해 온도, 습도를 정확하게 제어하도록 설계되었습니다. CREST DSA-150-6L2-5.7L에는 모델 제어 도구와 수동 방법의 조합을 사용하는 내장 포스트 프로세싱 스테이션도 있습니다. 이 후처리 스테이션을 사용하여 원하는 사양을 달성하기 위해 웨이퍼 서피스를 에치 (etch), 마스크 (mask), 밀봉 (seal) 및 광택 (polish) 할 수 있습니다. 이 장비는 다양한 보호 커버링 (protective covering) 으로 완성되었으며, 처리 후 잔류 물을 쉽게 제거 할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 CREST DSA-150-6L2-5.7L에는 통합 프로세스 제어 시스템이 포함되어 있습니다. 이 장치는 고급 통계 프로세스 제어 (statistical process control) 및 데이터 수집 기능을 제공하여 운영자가 프로세스 및 매개변수를 모니터링, 제어할 수 있도록 합니다. 이 기계는 향상된 수율과 반복 (repeatability) 을 달성하기 위해 장치의 성능을 최적화하는 데 사용될 수 있습니다. 전반적으로 CREST DSA-150-6L2-5.7L은 뛰어난 성능과 효율성을 제공하는 고급 웨이퍼 처리 도구입니다. 반도체, 태양, 마이크로 일렉트로닉스, 의료 기기 제조 등 다양한 업종의 응용 분야에 적합합니다. 통합 Optic 및 수동 사후 처리 기능을 통해 정확한 사양을 달성하는 데 이상적인 솔루션이 됩니다.
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