판매용 중고 CREST 2800DA #9288204

CREST 2800DA는 반도체 제조 시설에 사용하도록 설계된 고성능 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템에는 Delta Auto-Chamber, 100MHz 클럭 소스 및 스캔 웨이퍼 암이 장착되어 있습니다. 델타 오토 챔버 (Delta Auto-Chamber) 는 최대 450mm 직경의 웨이퍼를 처리하기 위해 CREST에서 개발 한 독점 장비입니다. 프로세스 챔버 (process chamber) 와 사전 처리 챔버 (pre-processing chamber) 간에 웨이퍼가 자동으로 이동되어 프로세스가 매우 효율적이며 빠른 주기 시간이 제공됩니다. 트리플 터렛 스타일 스캔 웨이퍼 암은 고급 소프트웨어 알고리즘으로 제어됩니다. 이렇게 하면 +/- 0.8 mm 정밀도 내에서 웨이퍼의 위치를 조정할 수 있으므로 잘못된 정렬을 줄이고 품질 결과를 확인할 수 있습니다. 2800DA에는 웨이퍼 처리의 두 가지 주요 단계가 있습니다. 첫 번째 단계에서 웨이퍼는 사전 처리 챔버 (pre-processing chamber) 로 들어가 청소하고, 프라이밍하고, 다음 단계를 준비합니다. 두 번째 단계에서 웨이퍼는 직접 분사 방법을 사용하여 두 가지 다른 화학 물질이 분사되는 델타 오토 챔버 (Delta Auto-Chamber) 로 전달됩니다. 화학 물질 을 정밀 하게 혼합 하여 "웨이퍼 '에 뿌려서" 웨이퍼' 질 이 일관성 있게 된다. 이 공정 은 완전 히 자동화 되어 있으며, 한 번 에 최대 7 가지 의 화학 물질 을 분사 하여 결합 시킬 수 있다. CREST 2800DA 장치는 처리에 대한 미크론 정확도의 일부와 함께 놀라운 정밀도를 자랑합니다. 기계 에는 또한 진공 처리 기능 이 있는데, 이것 은 "에치 '속도 를 정확 히 확인 하기 위하여 공정 중 의 진공 압력 을 자동 으로 조절 한다. 또한, 도구는 웨이퍼 표면에서 균일한 가열 및 냉각을 보장하는 온도 제어 기능을 가지고 있습니다. 전반적으로, 2800DA는 최적화된 성능과 생산성을 제공하는 고급 웨이퍼 처리 자산입니다. 오정을 줄이고 정확한 결과를 제공하는 것이 효율적입니다. 이 모델의 고급 기능 (Advanced Features) 과 통합 소프트웨어 (Integrated Software) 는 고정밀 웨이퍼 처리를 원하는 고객에게 이상적인 선택입니다.