판매용 중고 CONVAC Aptcon #9235445

CONVAC Aptcon
ID: 9235445
Cleaning system, parts machine.
CONVAC Aptcon은 다양한 다른 웨이퍼 처리 응용 프로그램에 사용되는 다용도 장비입니다. 이 제품은 표면 평면화 (surface planarization), 박막 증착 (thin film deposition), 이온 이식 (ion implantation) 및 기타 프로세스에서 안정적이고 일관된 제품 결과를 보장하도록 설계되었습니다. Aptcon을 사용하면 정확한 공기 청소를위한 높은 정확도 입자 크기 측정, 오염 제어, 가스 혼합물 최적화, 정확한 웨이퍼 매핑 (wafer process monitoring) 과 같은 광범위한 보호 웨이퍼 레시피 계획 및 유지 보수 기능으로 프로세스 레시피를 설정할 수 있습니다. 또한 CONVAC Aptcon 은 뛰어난 기능 외에도 직관적인 사용자 인터페이스를 제공하며, 손쉬운 운영 및 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 예를 들어, 사용자 친화적인 그래픽 인터페이스, 지침 설명서 (Instruction Manual), 온보드 진단 도구 (On-board Diagnostics Tool) 를 사용하여 프로세스에서 발생하는 모든 문제를 신속하게 진단하고 해결할 수 있습니다. 넓은 챔버 (chamber) 와 조절 가능한 암 (arm) 이동은 로트 사이의 최소 크기 불일치로 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 또한 Aptcon (Aptcon) 은 레시피 정보 아카이빙을 위한 활기찬 디지털 라이브러리 (Digital Library) 를 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 모든 프로세스를 추적하고 이후의 용도로 프로세스 프로파일을 최적화할 수 있습니다. 보안 통신 프로토콜 (Secure Communication Protocol) 을 통해 시스템은 컴퓨터 시스템 및 네트워크와 통합되어, 사용자에게 상태를 모니터링하고 데이터를 실시간으로 전송하는 편리한 방법을 제공합니다. 다른 기능 중 일부는 다음과 같습니다. 프로세스 매개 변수를 미리 정의된 범위로 유지하기위한 자동 피드백 제어 시스템 (automated feedback control system); 계층적 사용자 액세스 수준은 무단 액세스를 방지합니다. 프로세스 정확성을 보장하는 통합 검증 도구; 결함과 비 통일성의 인라인 시각적 표시. 전반적으로, CONVAC Aptcon은 다용도 및 고효율 웨이퍼 처리 시스템으로, 광범위한 프로세스를 수행할 수있는 기능뿐만 아니라 레시피 개발, 프로세스 모니터링, 유지 관리, 컴퓨터 시스템 통합의 효율성을 제공합니다.
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