판매용 중고 BURKERT 0290 #293670042
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버커트 0290 (BURKERT 0290) 은 모든 반도체 및 광전자 제조 요구에 종합적인 솔루션을 제공하기 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 처리 장비입니다. 다양한 기능과 기술이 결합되어 있어 매우 정밀하고 성능을 보장합니다 (영문). 0290은 회전 터렛 스타일 로봇을 갖춘 모듈식 디자인 (최대 360도 회전, 최대 6개의 공정 도구 포함) 을 갖추고 있습니다. "로봇 '에 여러 가지 도구 를 설치 할 수 있으며, 그것 은 본딩 (bonding), 안개 (encasing), 청소 (cleaning), 다이 코팅 (die coating) 등 여러 가지 작업 에 대한 옵션 을 제공 한다. "터렛 '은 최대 12" 인치' 의 "웨이퍼 '크기 를 처리 할 수 있으며, 유체 의 분배 를 제어 하기 위하여 각도 로 회전 할 수 있다. "로봇 '의 전극 탐사선 은" 웨이퍼' 를 정확 하게 평면 화하고 빨리 움직 일 수 있게 해 준다. 이 시스템은 또한 통합 비전 유닛 (integrated vision unit) 및 공정 가스 계량 규제 자동화 프로세스 (process gas meter-regulated automated process) 와 같은 고급 모니터링 기술을 사용합니다. 비전 머신은 최대 8 대의 고해상도 카메라를 적용하여 프로세스를 실시간으로 관찰하고 모니터링할 수 있습니다. 따라서, 이 도구는 모든 프로세스가 정확하고 효율적으로 수행되도록 보장 할 수 있습니다. 또한, 공정 가스 측정기 (process gas meter) 는 모든 공정에서 신뢰할 수있는 결과를 위해 정밀 압력 및 가스 흐름을 조절합니다. BURKERT 0290은 사용하기 쉬운 HMI (Human Machine Interface) 도 제공합니다. 이 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 에는 직관적인 메뉴 구조와 간단한 탐색을 위한 터치패드 에셋이 제공됩니다. 이 모델에는 여러 프로그램 저장 위치와 긴급 정지 (Emergency Stop) 버튼, 자동 잠금 (Automatic Lockout) 스위치 등의 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 모든 기능은 종합적이고 안정적인 웨이퍼 처리 장비를 형성합니다. 전반적으로 0290 은 안정적이고 효율적인 웨이퍼 (wafer) 처리 시스템으로, 광범위한 작업을 처리할 수 있습니다. 유연한 작동을 위한 모듈식 (modular) 설계와 다양한 고급 기술을 통해 정확성과 성능을 보장합니다. 이 장치는 또한 사용하기 쉽고, 모든 반도체 및 광전자 제조 요구에 이상적인 옵션입니다.
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