판매용 중고 BUEHLER 60-2499 #293649427

BUEHLER 60-2499는 초박형 웨이퍼 및 기타 섬세한 기질을 처리하도록 설계된 완전 자동화 된 4 구역, 열 산화로입니다. 장비의 모노 블록 (monobloc) 디자인은 정확한 온도와 균일성을 보장하여 최고 품질의 웨이퍼 프로세스를 지원합니다. 60 ~ 2499 는 정확한 제어 및 고급 절연 설계를 통해 온도 안정성과 정밀도를 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 용광로는 각각 별도의 절연 냉각 챔버 (insulated cooling chamber) 와 배기 챔버 (exhaust chamber) 가있는 4 개의 다른 처리 구역으로 구성됩니다. 설계를 통해 각 존 (zone) 을 개별적으로 정확하게 제어할 수 있으므로 모든 제조 단계에서 일관된 프로세스 조건을 보장할 수 있습니다. 첨단 공랭식 인슐레이션 (air-cooled insulation) 과 통합 냉각 시스템 (integrated cooling system) 을 사용하면 온도 안정성을 높이면서 에너지 소비를 줄일 수 있습니다. BUEHLER 60-2499 (BUEHLER 60-2499) 는 고급 가스 모니터링 및 프로세스 흐름 제어 센서를 통합하여 기판 처리의 지속적인 성능 및 재생성을 보장합니다. 60-2499는 직경이 최대 4 "인 웨이퍼와 20nm에서 200nm 사이의 두께를 처리 할 수 있습니다. 조절 가능한 슬릿 높이를 특징으로하여 +/-2õm 내에서 슬릿 높이를 정확하게 제어 할 수 있습니다. BUEHLER 60-2499에는 심지어 가공을 보장하기 위해 정확한 모래 침대도 있습니다. 기판의 매개 변수를 빠르고 편리하게 설정하기 위해 FUI (Furnace User Interface) 가 포함됩니다. 60-2499 는 다양한 웨이퍼 처리 요구에 대한 고성능 열 산화 장치입니다. 정확한 온도 조절 (temperature control) 및 고급 프로세스 모니터링 기술은 모든 프로젝트에 대해 일관되고 재현 가능한 성능을 보장합니다. 또한, 공랭식 단열재 설계 및 통합 냉각기는 뛰어난 성능과 에너지 효율성을 제공합니다. 강력하고 정확한 설계를 갖춘 BUEHLER 60-2499 (BUEHLER 60-2499) 는 최고 품질의 웨이퍼 제조 결과를 얻으려는 프로세서에 이상적인 도구입니다.