판매용 중고 BRANSONIC 3510J-MTH #9377403

BRANSONIC 3510J-MTH는 대용량 생산 환경을 위해 설계된 고성능 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템에는 2 단계 순차 프로세스가 있으며, 단일 장치에 대량 및 단일 웨이퍼 MTH (확산) 작업이 모두 있습니다. 기계는 2 단계 확산 도구를 사용하는데, 처음에는 MTH 전좌가 웨이퍼에 적용되고, 이어서 MTH 재료의 고 에너지 증착이 뒤 따릅니다. 이 2 단계 확산 과정은 MTH 층의 높은 균일 성을 초래하며, MTH 증착 동안 온도 균일 성을 크게 향상시킵니다. 이 자산은 또한 대형 웨이퍼 처리 (wafer handling) 기능을 갖추고 있으며, 대형 웨이퍼 (wafer) 에 효율적인 재료 증착이 가능하며, 자동 웨이퍼 전송 기능을 통해 향상된 속도와 처리량을 제공합니다. 이 모델은 최대 300mm 직경의 웨이퍼를 효율적으로 처리 할 수 있으며, 최대 웨이퍼 처리량은 시간당 최대 1500 웨이퍼 (wafer) 입니다. 이 장비는 고급 프로세스 제어 시스템 (process control system) 을 갖추고 있으므로 MTH 증착 프로세스를 정확하게 제어하여 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 다양한 모니터링 기능을 통해 웨이퍼 (wafer) 와 프로세스 (process) 에서 실시간 데이터를 수집할 수 있으며 필요한 경우 MTH 증착 매개변수에 대한 실시간 조정도 가능합니다. 이 장치에는 빠르고 간편한 유지 보수, 다운타임 최소화, 효율성 극대화를 위한 견고한 설계가 포함되어 있습니다. 즉, 모든 구성요소를 손쉽게 액세스할 수 있어 신속하게 교체할 수 있으며, 모듈식 (modular) 설계를 통해 빠르고 쉽게 재구성할 수 있습니다. 이 기계는 또한 포괄적인 원격 모니터링 및 제어 도구 (Control Tool) 를 통해 운영자가 원격으로 모니터링하고 MTH 증착 프로세스를 조정하여 최적의 성능을 보장할 수 있습니다. 전체적으로, 3510J-MTH는 대용량 생산 환경에서 MTH 증착을 위한 안정적이고 효율적인 솔루션을 제공하기 위해 설계된 고성능, 대용량 웨이퍼 처리 자산입니다. 이 모델의 독특한 2 단계 확산 프로세스 및 고급 프로세스 제어 장비는 MTH 레이어의 높은 균일성을 제공하는 반면, 대형 웨이퍼 처리 기능 및 자동 웨이퍼 전송 (Automated Wafer Transfer) 기능은 향상된 속도와 처리량을 제공합니다. 이 시스템은 또한 견고한 설계와 간편한 액세스 구성 요소 (component) 를 갖추고 있어 신속하고 간편한 유지 보수 기능을 제공하며 다운타임을 최소화합니다. 마지막으로, 포괄적인 원격 모니터링 및 제어 장치 (Control Unit) 를 통해 운영자는 원격으로 모니터링하고 MTH 증착 프로세스를 조정하여 최적의 성능을 얻을 수 있습니다.