판매용 중고 BRANSON MWX 100 #293620078
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BRANSON MWX 100은 반도체 웨이퍼 기술을 위해 설계된 전문 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 에칭 (etching), 클리닝 (cleaning), 수동화 (passivating), 열, 광학 및 전기 측정과 같은 광범위한 자동 프로세스를 지원하는 유연한 설계 아키텍처를 갖추고 있습니다. 전형적 인 "에칭 '과정 은 진동 청소, 화학" 에치' 및 화학 수동화 의 동시 조합 으로 이루어져 있으며, 이것 은 모두 기계 의 한 단계 에서 행해진다. 이 장치에는 다양한 크기의 웨이퍼를 고정하고 처리하기 위해 2 개의 카세트가 장착되어 있습니다. MWX 100에는 일관되고 균일 한 웨이퍼 처리를 보장하도록 설계된 여러 기능이 있습니다. 예를 들어, 머신에는 컴퓨터 제어, 자동 차단 (automated shut off) 머신이 장착되어 웨이퍼 표면의 과도한 청소 또는 과잉 에칭을 방지합니다. 또한, 이 기계는 공정에 대한 포괄적인 제어 및 모니터링을 제공하는 정교한 터치 스크린 인터페이스 (touch screen interface) 를 포함합니다. 또한 사용자가 에칭 프로세스 지속 시간을 정확하게 제어할 수 있는 타이머 (timer) 를 제공합니다. 또한, 도구는 최적의 매개변수에서 에칭 프로세스를 유지하기 위해 교정 에셋을 포함합니다. 이 모델에는 난방 응용을위한 제논 아크로 (xenon arc furnace) 와 쿼츠 튜브 (quartz tube), 에칭 및 청소를위한 침수 된 단일 웨이퍼 포켓, 균일 한 샘플 전송을위한 개별 웨이퍼 홀더가 장착되어 있습니다. 석영 튜브는 에칭 공정 속도를 높이고 균일 한 결과를 보장합니다. 또한, 침수 된 단일 웨이퍼 포켓 (single wafer pocket) 을 사용하면 한 번에 여러 웨이퍼를 에치 및 청소할 수 있으며, 이는 처리량을 크게 증가시킵니다. 장비에는 가변, 조정 가능한 스테이지 높이 (stage height) 가 있어 사용자가 샘플 높이를 조작하여 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 스테인리스 스틸 뚜껑은 상단 표면의 균일 한 처리를 보장합니다. 스테이지 틸팅 (Stage Tilting) 메커니즘을 사용하면 개별 웨이퍼 회전 및 인덱싱을 수행할 수 있으므로 웨이퍼를 정확하게 색인화하고 처리 정확도를 높일 수 있습니다. BRANSON MWX 100은 시장에서 가장 고급 웨이퍼 처리 시스템 중 하나입니다. 유연성이 뛰어난 설계 아키텍처 (Design Architecture) 와 다양한 프로세스 기능을 제공하여, 정밀 프로세스가 필요한 반도체에 적합한 솔루션입니다. 직관적인 터치 스크린 인터페이스, 고급 안전 측정 (safety measures) 및 향상된 처리 속도를 결합하여 MWX 100을 모든 웨이퍼 처리 실험실에 추가해야합니다.
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