판매용 중고 BRANSON ADA060000315 #9308536

BRANSON ADA060000315는 프로세스 챔버와 제어 장치로 구성된 ITW Fujipol BRANSON이 설계 한 다른 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 화학 습식 에칭, 물리적 증기 증착, 이온 이식 등 다양한 웨이퍼 응용 분야에 사용될 수 있습니다. 스테인리스 스틸 공정 챔버와 UV 경화 아크릴 페이스 플레이트가있는 소형 유닛입니다. 또한 정밀 광원 작동을 위해 통합 UV Led가있는 통합 Acrylic 콘솔이 있습니다. 기계의 제어 단위도 BRANSON에 의해 설계되었습니다. 그래픽 터치 스크린 (Graphic Touch Screen) 과 다양한 작업 메뉴를 제공하는 전문가 작업 컨트롤러가 모두 포함된 내장형 실시간 PLC 및 PC 도구입니다. 또한 주변 장치 통합을 위한 다기능 이더넷 통신 네트워크도 갖추고 있습니다. 컨트롤 에셋은 터치 패널 PC (touch panel PC) 와 직관적인 메뉴 (직관적인 메뉴) 를 통해 제어할 수 있으며, 이를 통해 다양한 프로세스를 선택할 수 있습니다. 웨이퍼 처리 모델은 스테인레스 스틸 재료 (stainless steel material) 로 만들어진 제거 된 공정 챔버로 작동합니다. 고정밀도 스테퍼 모터 (stepper motor) 와 속도 제어 메커니즘을 장착하여 웨이퍼 처리 도구를 구동합니다. 또한 정밀한 가스 흐름 구성 제어에 사용되는 맞춤형 가스 믹싱 (gas mixing) 장비가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 웨이퍼 삽입 및 웨이퍼 제거를 위해 양방향 공압 작동을 제공합니다. 정확한 프로세스 제어를 위해, 이 장치에는 고정밀 쿼츠 크리스탈 샘플러 및 압력 모니터도 장착되어 있습니다. ADA060000315 머신은 반복 가능한 결과와 여러 프로세스 사이클 (process cycle) 을 통해 정확한 웨이퍼 처리를 제공하도록 설계되었습니다. 작동 시 신뢰성이 높고 견고하며 최대 6 인치 직경의 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기에 사용하도록 설계되었습니다. 이 도구는 최대 102mbar 의 채우기 (fill) 압력을 제공하며, 이는 다양한 웨이퍼 처리 작업에 적합합니다. 이 자산은 정밀 광, 전자 및 MEMS 웨이퍼 처리 작업에 이상적인 솔루션입니다.