판매용 중고 BRANSON 3510R-DTH #293627287

BRANSON 3510R-DTH는 마이크로 전자 청소 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 습식 화학 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 백 그라인딩, 로우 k 에치 및 SiNx 스트리핑, 다이 앤 웨이퍼 클리닝, 표면 준비 및 플립 칩 수동화에 이상적입니다. 혁신적인 DTH (DeepTrack Heated) 기능이 특징이며, 특허 형 사이클론 기술을 사용하여 전체 기판을 가장자리에서 가장자리, 위에서 아래로 청소하여 탁월한 효율성을 제공합니다. 3510R-DTH는 2 개의 열 챔버, 2 개의 진공 챔버 및 폐쇄 루프 화학 전달 기계가있는 업그레이드 가능한 장치입니다. 2 개의 열 챔버는 각각 최대 60 개의 웨이퍼를 보유하며 최대 400 ° C의 온도에도 견딜 수 있습니다. 이를 통해 Si, GaAs, InP 및 SOI를 포함한 다양한 기판 재료를 처리 할 수 있습니다. 이 도구는 모든 열 프로세스 동안 각 웨이퍼에 대한 최적의 온도 시간 프로파일 제어를 위해 설계되었습니다. 2 개의 진공 실의 용량은 400L이며, < 10-8 torr의 압력에 도달 할 수 있습니다. 이것은 챔버에서 최대 발열을 보장합니다. 폐쇄 루프 (closed-loop) 화학 전달 자산은 사용 된 화학 물질과 농도를 완전히 제어하도록 설계되었습니다. 이를 통해 사용자는 다양한 프로세스에 필요한 특정 화학을 최대 효율로 조절 할 수 있습니다 (영문). DTH (DeepTrack Heated) 기능은 열 챔버에서 생성되는 웨이퍼 처리 중 차등 온도 프로파일을 사용합니다. 이것은 강력한 사이클론 효과를 생성하고 잔기가없는 짝수 기판 커버리지를 보장합니다. 이것은 로우 -k 에치 및 백 그라인딩 응용 프로그램에 이상적입니다. 또한 BRANSON 3510R-DTH 는 사용자 지정 가능한 소프트웨어 패키지와 함께 제공되며, 사용자는 프로세스 매개변수를 빠르고 쉽게 조정할 수 있습니다. 또한 이 소프트웨어를 사용하여 모델에 대한 진단 제어 (Diagnostic Control) 를 완료할 수 있으며, 사용자가 처리 중에 각 웨이퍼의 상태를 알 수 있습니다. 3510R-DTH는 오늘날 시장에서 가장 발전된 습식 화학 웨이퍼 처리 시스템 중 하나입니다. 2 개의 열 챔버, 2 개의 진공 챔버 및 혁신적인 DTH 기능으로, 청소, 에칭 및 표면 준비에 전례없는 제어 및 효율성을 제공합니다. 사용자 정의 가능한 소프트웨어 패키지를 사용하면 다양한 프로세스 매개변수를 빠르고 쉽게 제어할 수 있으며, 장비에 대한 완벽한 진단 제어 (diagnostic control) 를 제공합니다. 이 시스템은 마이크로 전자 클리닝 어플리케이션 (micro-electronic cleaning application) 에 적합하며, 고급 기능을 통해 업계에 혁명을 일으킬 수 있습니다.