판매용 중고 BOMAR SPC 1500 #126399
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BOMAR SPC 1500 은 최첨단 Wafer 처리 장비로, 매우 생산적인 처리량을 제공하는 고정밀 제작을 제공합니다. 고급 디자인에는 세라믹 (ceramic), 이중 측면 광택 (double side-polished), 금속 (metal) 등 다양한 웨이퍼의 통합 생산을 달성하기위한 여러 개의 개별 모듈이 포함됩니다. 이 시스템은 최대 4 개의 생산 계층을 높은 정확도로 처리 할 수있는 깊은 제작 프로세스 (Deep Fabrication Process) 를 갖추고 있습니다. SPC 1500의 간소화 된 디자인은 전처리 챔버, 처리 챔버 및 후처리 챔버로 구성됩니다. 각 챔버는 최대 3 개의 웨이퍼 처리 플랫폼을 수용 할 수 있습니다. 사전 처리 챔버 (pre-processing chamber) 는 웨이퍼가 깊은 제조 공정에 대해 프라이밍되도록 보장하는 반면, 처리 챔버 (processing chamber) 는 복잡한 제조 공정을 처리합니다. 마지막으로, 처리 후 챔버는 웨이퍼의 마무리를 관리합니다. BOMAR SPC 1500 고유의 고급 모션 유닛으로, 정교한 모션 제어 및 고속 서보 모터 기술을 사용합니다. 최적의 웨이퍼 속도, 위치, 가속 및 감속, 기타 수많은 고급 기능을 제공합니다. 또한, 기계에는 공정 피드백을위한 폐쇄 루프 도구 (closed-loop tool) 와 고급 입자 감지 에셋 (advanced particle detection asset) 이 있습니다. SPC 1500은 사용자 친화적 그래픽 인터페이스로 설계되어, 사용 편의성과 운영 일관성을 극대화합니다. 또한 프로세스 관리 (Process Management), 데이터 수집 (Data Collection) 기능, 포괄적인 보고 모델 등 다양한 프로세스 제어 기능을 제공합니다. 생산성 및 효율성 향상을 위해 BOMAR SPC 1500에는 완전한 프로그래밍 가능한 로봇 암 (robot arm), 공구 관리 (tooling management), 장비 모니터링 및 유지 보수 등 다양한 자동 기능이 장착되어 있습니다. 또한, 이 시스템에는 포괄적인 안전 프로토콜 (Safety Protocol) 과 효율적인 운영을 보장하는 다양한 보안 조치 (Security Measure) 가 포함되어 있습니다. 전반적으로, SPC 1500 (SPC 1500) 은 다양한 웨이퍼를 심층적으로 제작하기 위해 전례없는 정확성과 효율성을 제공하도록 설계된 고급 웨이퍼 처리 장치입니다. 통합 디자인과 정교한 모션 머신 (Motion Machine) 은 고정밀도 및 생산성 제조를 위해 빠르고 안정적인 작동을 제공합니다. 사용자 친화적 인 설계와 강력한 자동화 기능을 갖춘 BOMAR SPC 1500은 복잡한 웨이퍼 구조를 생산하는 데 적합합니다.
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